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發布時間:2020-11-16 14:24  





流量控制器基本原理
通過測量氣體流經流量器內加熱元件時的冷卻效應來計量氣體流量的。擴散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設備,光纖熔煉,微反應裝置,混氣配氣系統,毛細管測量氣象色譜儀,光導纖維制造設備中。氣體通過的測量段內有兩個熱阻元件,其中一個作為溫度檢測,另一個作為加熱器。溫度傳感元件用于檢測氣體溫度,加熱器則通過改變電流來保持其溫度與被測氣體的溫度之間有一個恒定的溫度差。當氣體流速增加,冷卻效應越大,使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質量流量,即供給電流與氣體質量流量有一對應的函數關系來反映氣體的流量。
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什么是流量控制器
質量流量控制器,即MassFlowController(MFC),不但具有質量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據需要進行流量設定,MFC自動地將流量恒定在設定值上,即使系統壓力有波動或環境溫度有變化,也不會使其偏離設定值。質量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調節閥門和放大控制器等部分組成。質量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對于氣體或者液體的質量流量進行精密測量和控制。擴散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設備,光纖熔煉,微反應裝置,混氣配氣系統,毛細管測量氣象色譜儀,光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工。冶金,制藥等。特點:精度高,重復性好。
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流量控制器的性能參數
流量控制器的特點是:當自力式流量控制閥進口、出口壓差變化時,通過自力式流量控制閥的流量恒定不變。
流量控制器的性能參數有:流量控制精度、工作壓差范圍、啟動壓差。
流量控制精度指的是流量控制器的控制流量的誤差,行業標準中的誤差要求小于等于8%,A類產品的誤差小于等于5%。流量控制精度的高低取決于流量控制器的設計、加工和材質。
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分析流量控制器的應用領域
分流器決定主通道的流量。流量控制器質量流量控制器在正常工作時,流體在旋轉的管內流動時會對管壁產生一個力,它是科里奧利在1832年研究水輪機時發現的,簡稱科氏力。與它配套的流量顯示儀上設置有穩壓電源,數字電壓表,設定電位器,外設、內設轉換和三位閥控開關等。質量流量控制器抗干擾能力強,測量精度高、量程比大、工作穩定可靠、對安裝要求低、對流體狀態要求低,壓力損失小等優點,且易清洗、具備自排空功能。
其基本技術指標已達到先進水平,每臺傳感器都由不銹鋼材料制造,多種輸出能滿足您的各種需求。熱分布式儀表用于H2、N2、O2、CO、NO等接近理想氣體的雙原子氣體,不必用這些氣體專門標定,直接就用空氣標定的儀表,實驗證明差別僅2%左右。可直接用來測量管道中介質的質量流量及總量、體積流量及總量、介質的密度、溫度、溶液的濃度以及較均勻混合的兩種液體各自的濃度等參數。質量流量控制器即使在惡劣的工作環境下也能表現出優異的性能
提高流量測量系統的可靠性用于安全聯鎖報警的流量儀表如果不可靠,應該聯鎖動作時不動作,容易釀成事故,不該動作時亂動作,容易導致不應有的停車,造成損失。其基本技術指標已達到先進水平,每臺傳感器都由不銹鋼材料制造,多種輸出能滿足您的各種需求。工業爐窯中的燃料流量計如果不可靠,造成流路堵塞,容易導致爐子熄火,釀成事故。用于過程控制的質量流量控制器儀表如果不可靠,容易為調節系統發出錯誤信息,導致調節系統失調,破壞生產過程的穩定,影響產品的質量、產量和物耗,造成損失。可以看出,流量儀表的可靠性是較為重要的。
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