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發布時間:2020-11-03 06:39  





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廣州潽拓光電科技有限公司專業維修PFEIFFER Hipace 400分子泵,HiPace 400 用于分子束外延 MBE, 主要針對金屬薄膜及材料器件的氧化物外延生長.
分子泵應用 HiPace 400: 廣泛應用于各個真空行業
鍍膜: 光伏, CD/ DVD/ PVD, 光學鍍膜, 硬質涂層
工業: 醫學技術、工業檢漏、電子束焊接、隔離真空、熱處理、燈管制造
研發: 核研究, 等離子研究,冷凍研究, 納米技術, 生物技術
廣州潽拓——{精}普發 Hipace 80分子泵
廣州現貨普發 PFEIFFER Hipace 80分子泵
普發分子泵?Hipace?80的工作原理
軸承
通過兩個球軸承安裝渦輪分子泵轉子軸需要將兩個球軸承都安排在前真空側,因為軸承中有潤滑劑。這導致轉子憑借其較大質量產生的單邊(懸臂)支撐。
混合軸承支撐就轉子動力學而言在這方面有優勢。混合軸承 指ding在一個單一泵中使用兩個軸承的概念。在操作過程使用氣鎮達到的最終壓力,高于無氣鎮操作所達到的壓力。在這種情況下,油潤滑球軸承安裝在前真空側上軸的端部,且高真空側配備了免維護和無磨損的永磁軸承,其將轉子置于徑向中心位置。潤滑前真空側軸承的油包含在工作液儲罐中。小型安全 軸承布置在磁軸承轉子內。在正常工作期間,軸頸在該軸承內自由旋轉。如果存在強勁的徑向沖擊,安全軸承則穩定轉子并只短時間轉動。如果轉子失去平衡,軸兩端的軸承將比浮動軸承的情況下產生顯著較低的軸承應力振動力。高真空側的磁軸承對振動完全不敏感。因此,只有非常小的振動力被傳輸到殼體上。并且,這無須懸臂概念中較大的兩個軸承,其較小的尺寸限制了轉速。
PFEIFFER ?Hipace?80配套的電源 TC110如下圖
電源是?24、48?或?72?伏的直流電,通過外部電源包或集成在泵的電子單元中的?電源包產生電流

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