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發布時間:2020-10-31 09:18  





蒸發鍍膜
一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發出來。厚度均勻性主要取決于:
1、基片材料與靶材的晶格匹配程度
2、基片表面溫度
3、蒸發功率,速率
4. 真空度
5. 鍍膜時間,厚度大小
組分均勻性:蒸發鍍膜組分均勻性不是很容易保證,具體可以調控的因素同上,但是由于原理所限,對于非單一組分鍍膜,蒸發鍍膜的組分均勻性不好。
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真空抽不上去的原因
1、漏率偏高就是我們通常所說的漏氣;.
2、真空機組的抽氣能力不夠了,油被污染或氧化了:
3、真空室內太臟放氣;
4、真空室內有漏水;
5、真空管道有漏氣;.
6、或者是以上幾種可能都有。
出現問題首先是要判斷,是不是拆卸過東西,是不是漏水?閥門打開了嗎?根據現象判斷原因,然后再去根據判斷找問題,可能會收到事半功倍的效果。
養成良好的衛生習慣
相比以前我們廠的設備是灰塵滿面、油漬不堪。也許很多人都認為,設備只要正常運轉就可以了,搞得再干凈也是做表面工作。我可是這樣認為的,一個人連表面工作都作不來,那真的還有內在、實在的工作嗎?當然設備和設備周圍的灰塵、油污對設備的本身的影響也是相當之大的。1964年,采用離子鍍方法在鈦合金緊固件上鍍鋁,解決了飛機零件的“鎘脆”問題。灰塵能產生靜電,損壞電子元件;油污能使電線、水管硬化開裂,造成一些意想不到的問題出現。特別我們使
用的真空設備,還有它本身的特殊性。真空設備講究的是-一個真空清潔度,真空清潔度越差,放氣性就越大。這樣使設備抽到較高的真空度所需的時間就越長。
或者根本就無法抽到。這樣一來就減少我們的產量,二來影響到了我們的產品的質量。
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真空鍍膜機檢漏
要承認漏氣究竟的虛漏仍是實漏,因為工件資料加熱后都會在不同程度上發生氣體,有也許誤以為是從外部流進的氣體,這即是虛漏,要掃除這種狀況。
第二,測驗好真空室的氣體密封功能,確保氣密功能符合要求。
第三,查看漏孔的巨細,形狀、方位,漏氣的速度,制備出可處理方案并施行。
第四,斷定檢查儀器的1小可檢漏率和檢漏靈敏性,以1大規模的檢查出漏氣狀況,防止一些漏孔被疏忽,進步檢漏的準確性。
第五,掌握檢漏儀器的反應時刻和消除時刻,把時刻掌握好,確保檢漏儀器作業到位,時刻少了,檢漏作用必定差,時刻長了,糟蹋檢漏氣體和人工電費。
第六,還要防止漏孔阻塞,有時因為操作失誤,檢漏過程中,一些塵埃或液體等把漏孔阻塞了,以為在該方位沒有漏孔,但當這些阻塞物因為內外壓強區別進步或別的緣由使漏孔不堵了,那漏氣仍是存在的。