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半導體工業用的氣體統稱電子氣體。高純氙氣氙氣廠家分享氣體使用時所能接觸的材料，不能有和此種氣體不相容或起反應的材料。按其門類可分為純氣，高純氣和半導體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延，摻雜和蝕刻工藝；高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。電子氣體是特種氣體的一個重要分支。電子氣體按純度等級和使用場合，可分為電子級，LSI（大規模集成電路）級，VLSI（超大規模集成電路)級和ULSI(特大規模集成電路）級。    

           近幾年來，智研數據研究中心隨著我國超大規模集成電路、平板顯示器、光伏發電等產業的迅速發展，電子氣體市場需求量明顯增長，電子特種氣體的國產化已是大勢所趨。在離子室里存在著正電極和負電極，就可以產生電場，當被測的氣體在紫外燈的照射下的時候，就會被離子化，然后形成正離子和負離子，這個時候在電極之間就可以產生電流，接著通過放大輸出信號。據了解，我國在國產化方面取得可喜進展：國產高純氨改變了國外氣體公司壟斷市場的格局，高純四氟化碳“有價無貨”時代也宣告結束，高純已成功打開國內市場。

電子氣體主要包括：、、乙、化氫、硒化氫、、四氟化碳、化三氫、、三氯化硼、三氟甲烷、三氟化氮、、六、六氟化鎢、六氟化硫、、磷烷、、、氣、氨氣、電子級等.

其中六氟化硫、電子級、、磷烷使用較多。

氙氣,氣,氮氣是一種非常重要的氣體，它的應用廣泛。第二：用于氣體的估量，它通常含有較少的有關組分，在已知濃度水平時，允許將分析裝置校準到與這個濃度值一致。食品的儲存和運輸需要用到大量的氮氣，來防止食物變質另一方面，由于氮氣的良好性質，在焊接、機械設備和油田開采中有著重要的應用價值。可以說，氮氣的用途很廣泛，幾乎處處可見。  氮氣（N2）是一種無色、無味、無臭的惰性氣體，密度為1.2506kg/m3，熔點為-209.86℃，沸點為-195.8攝氏度，稍溶于水和乙醇，化學性質不活躍，在一個大氣壓下的冷卻和冷凍整個過程中吸收的總能量為382kJ/kg。人在氮氣中作業時，應該防止窒息致死。

特種氣體可能存在窒息性、腐蝕性、毒性、性等危險，其危害性被不同國家區域和不同的工業組織進行了詳細的危險等級分類。

對于一個大規模生產的電子廠，其儲存和使用的特種氣體數量之多，可以毫不夸張的被視為擁有“大規模殺傷性”庫。

任何設計、施工、日常運作中存在的安全隱患都會對工廠、人員和環境帶來巨大的災難，如何保證特種氣體的安全儲存和使用是每一個生產和使用企業越來越重視的問題。 高純氙氣  工業體