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熱風循環系統主要包括旋風分離器、鼓風機、空氣過濾器和加熱器等。當一切準備工作就緒后方可將試品放入烘箱內，然后連接并開啟電源，紅色指示燈亮表示箱內已加熱。從烘干機出來的熱空氣經旋風分離器除去粉末后回至鼓風機，然后經過濾，可加熱送入烘干機內，在循環過程中，根姻空氣的溫度，不斷排放部分循環空氣，補充部分經過減濕過濾后的新鮮空，烘干機的特點是切片在十燥器內呈活塞式梳丸基本上可保證切片在烘干過程小停留時間一致，烘干質量較好，而且烘干后的切片可以寅接連續進入螺桿擠山機料斗供紡絲使用，避免干切片回潮，且烘干機本身結構比較簡單。

采用流線圓弧型設計，外殼采用冷軋鋼板制造，表面靜電噴塑;內膽均為鏡面不銹鋼材料制成;工作室內擱架可隨用戶要求任意調節高度及擱架多少;采用EBM風機(10檔風速調整)，微量風循環，有利于干燥細小或粉末有關物品并且使箱內溫度更加均勻，同時使箱內物品蒸發的水蒸汽加速散逸到箱外的空氣中，以提高干燥效率;合理的風道和循環系統，使工作室內的均勻度變化小。根據不同物品潮濕程度，選擇不同的干燥時間，如干燥時間較長，真空度下降，需再次抽氣恢復真空度，應先開真空泵電源，再開啟真空閥。

熱風循環烘箱的配置

箱體部分

采用流線圓弧型設計，外殼采用冷軋鋼板制造，表面靜電噴塑；內膽均為鏡面不銹鋼材料制成；工作室內擱架可隨用戶要求任意調節高度及擱架多少；采用EBM風機(10檔風速調整)，微量風循環，有利于干燥細小或粉末有關物品并且使箱內溫度更加均勻，同時使箱內物品蒸發的水蒸汽加速散逸到箱外的空氣中，以提高干燥效率；合理的風道和循環系統，使工作室內的均勻度變化小。工業烘箱溫度范圍寬，控溫精度高，長期穩定運行，甚至可以選擇帶真空功能的真空烘箱。

雙開門烘箱的使用注意事項

1.烘箱應安放在室內干燥和水平處，防止振動和腐蝕。

2.要注意安全用電，根據烘箱耗電功率安裝足夠容量的電源閘刀。選用足夠的電源導線，并應有良好的接地線。

3.帶有電接點水l銀溫度計式溫控器的烘箱應將電接點溫度計的兩根導線分別接至箱頂的兩個接線柱上。熱風循環烘箱的配置箱體部分采用流線圓弧型設計，外殼采用冷軋鋼板制造，表面靜電噴塑。另將一支普通水l銀溫度計插入排氣閥中，（排氣閥中的溫度計是用來校對電接點水l銀溫度計和觀察箱內實際溫度用的）打開排氣閥的孔。調節電接點水l銀溫度計至所需溫度后緊固鋼帽上的螺絲，以達到恒溫的目的。但必須注意調節時切勿將指示鐵旋至刻度尺外。

4.當一切準備工作就緒后方可將試品放入烘箱內，然后連接并開啟電源，紅色指示燈亮表示箱內已加熱。當溫度達到所控溫度時，紅燈熄滅綠燈亮，開始恒溫。為了防止溫控失靈，還必須照看。

熱風循環烘箱在光刻中的應用是如何的？

1、在硅片上涂覆光刻膠{ */}。粘合劑或硅片放置在惰性氣體中進行熱處理。5%℃220V/380V3~5KWKQ-6050×60×505~8KWKQ-9060×90×505。該工藝旨在提高光刻膠與硅片之間的附著力，防止顯影時間的延長，防止濕腐蝕過程。使用粘合劑的防腐劑。首先，采用真空法從膠粘機上的硅天花板上抽油，將吳定量的粘性光刻膠涂在幽l靈表面，然后時間設定涂層的速度和旋轉速度。在離心力作用下，光刻膠表面均勻分散，去除多余的光刻膠，獲得吳定厚度的光刻膠膜。膠厚控制膠的粘度和橡膠的速度，預干燥由于溶劑緩蝕劑作用，在80℃的硅片上，防腐劑是干的。微波爐是吳種惰性氣體，干燥時間通常在15-30分鐘之間的光刻膠清除器。

2、掩碼對齊

由于集成電路的制造過程是吳層的過程，所以每個層的位置不能移動。高溫烤箱的技術性能：1、電源：電壓380V、三相五線制，總功率120KW/臺（可根據需求訂制）。熱風循環烘箱吳般有加熱管，有循環風機的烘箱都可稱為熱風循環烘箱，因為不管烘箱什么結構，風向水平還是垂直，歸根到底都是熱風在里面循環，所以都可通稱為熱風循環烘箱，如電熱鼓風烘箱，對開門高溫滅菌烘箱等。掩模和晶片可以對齊在晶片上。