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OLED有機無機聯合蒸發系統介紹

以下是沈陽鵬程真空技術有限責任公司為您一起分享的內容，沈陽鵬程真空技術有限責任公司專業生產電阻熱蒸發鍍膜產品，歡迎新老客戶蒞臨。

OLED有機無機聯合蒸發系統的用途 ：

適用于制備金屬單質薄膜、半導體薄膜、氧化物薄膜、有機薄膜等，可用于科研單位進行新材料、新工藝薄膜研究工作，也可用于大批量生產前的試驗工作。4、特殊設計避免出現升華氣團，而造成產品表面的白點、絮狀物等，進而影響防水、耐壓等功能。與手套箱聯合系統的用戶群體為科研院所及實驗室，將真空蒸發系統工作室置于Glove box無水、無氧、無塵的超純環境中，PVD與Glove box硬件無縫對接，操控融合一體，廣泛應用于有機、無機、鈣鈦礦薄膜太陽能電池、OLED等研究領域

什么是蒸發鍍膜？

蒸發鍍膜常稱真空鍍膜。

其特點是在真空條件下，材料蒸發并在玻璃表面上凝結成膜，再經高溫熱處理后，在玻璃表面形成附著力很強的膜層。有70 多種元素、50 多種無機化合物材料和多種合金材料可供選擇。在高真空下，采用電阻式蒸發原理，利用大電流在蒸發舟上加熱所蒸鍍材料，使其在高溫下熔化蒸發，從而在樣品上沉積所需要的薄膜。PVD工藝的首要條件是在真空條件下操作，因為限量以上的殘余氣體會影響膜的成分和性質。為了實現鍍膜工藝，要求殘余氣體的壓力為0.1～1Pa。

ZF350有機無機聯合制備：采用3～4組蒸發源可兼容金屬、有機物蒸發。300D三源有機蒸發鍍膜機主要用途：特別適合OPV/鈣鈦礦/無機薄膜太陽能電池、半導體、有機EL、OLED顯示研究與開發領域。廣泛應用于高校材料、物理、化學、電子、能源等相關學科以及科研院所制備高質量功能薄膜、蒸鍍電極等，特別適合OPV/鈣鈦礦/無機薄膜太陽能電池、半導體、有機EL、OLED顯示研究與開發領域。

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鈣鈦礦鍍膜機的特點有哪些？

1、樣品位于真空室上方，蒸發源位于真空室下方，向上蒸發鍍膜，且蒸發源帶有擋板裝置。

2、設有烘烤加熱功能，可在鍍膜過程中加熱樣品，烘烤加熱溫度為≤180℃。

3、設有斷水、斷電連鎖保護報警裝置及防誤操作保護報警裝置。

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