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發布時間:2020-10-31 06:13  





氦質譜檢漏儀
因此所有的真空部件在出廠時都要測試泄漏率指標。通常情況下,真空部件的泄漏檢測都是應用氦質譜檢漏,檢漏時構造一個臨時的密閉空間,利用氦質譜檢漏儀抽空后噴氦查找漏點(泄漏指標異常處)。氦質譜檢漏儀操作簡單,響應快,精度高,將真空波紋管一端連接到氦質譜檢漏儀的檢漏口上,另一端連接到氣瓶夾層
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氦質譜檢漏儀(Helium Mass SpectrometerLeakDetector)為氣體工業名詞術語,用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數小,因而易通過漏孔并易擴散;另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設備,
氦質譜檢漏儀逆擴散原理
將被檢件與儀器檢漏口聯接抽真空,在被檢件外面罩以充滿氦氣的容器,如被檢件有漏孔,氦氣便由漏孔進入被檢件,終達到質譜管被檢測。所測漏率是被檢件的總漏率,不能確定有幾個泄漏點和每個漏點的準確位置。可以看出鐘罩法是基于噴吹法的一種檢漏方法。