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發布時間:2020-12-14 08:54  
淄博齊韻泵業科技有限公司技術力量雄厚、制造設備精良,并有完善的質量管理體系,可為用戶設計、制造不同類型的真空泵、水泵及設備機組。
水環式真空泵的缺點
1)效率低,一般在30%左右,較好的可達50%.
2)真空度低,這不僅是因為受到結構上的限制,更重要的是受工作液飽和蒸氣壓的限制。
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有效稀釋有害氣體的濃度:
半導體易產生前面所說的、有毒的有害氣體。所以半導體真空泵應用中在抽取這些介質時就必須防止它們在真空泵內或者排氣過程中發生一些不可控的反應。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質,在與空氣或氧接觸的時候,會引起燃燒甚至;氫氣在空氣中的混合比例達到一定程度與溫度時也會發生燃燒。這些都取決于該物質的量以及與環境的壓力、溫度的關系。因此半導體真空泵在抽取這些介質時,需要用氮氣之類的惰性氣體,在壓縮前即將這些氣體稀釋到當時條件下的安全范圍。
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加壓條件下容器漏率的測定
在加壓條件下測童容器漏率的方法有:氣泡法、超聲法、氣敏半導體檢漏儀法、氨檢漏法、鹵素檢漏儀法、氮質譜檢漏儀法等。
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合適的粘度和良好的粘溫特性:水環式真空泵腔內容積不斷變化而形成排氣作用,要求潤滑油應具有合適的粘度和粘溫特性。
低蒸氣壓:這是真空潤滑喲的重要的性能,由于真空泵要求真空度很高,一般用石蠟基窄餾分潤滑油,對于擴散空泵,還可使用蒸氣壓很低的硅油或其他合成油。
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