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發布時間:2021-01-18 04:06  






半導體、集成電路生產的無塵車間要求
半導體材料提純作為發展半導體器件的重要基礎。由于大規模和超大規模集成電路的工藝要求,為得到高純度的硅材料,原料和中間媒介的高純度和生產環境的潔凈度成為影響產品質量的一個突出問題。集成電路芯片的成品率與芯片的缺陷密度有關,而芯片的缺陷密度與空氣中粒子個數有關。因此,集成電路的高速發展,不僅對空氣中控制粒子的尺寸有極高的要求,而且也需進一步控制粒子數;同時,對于超大規模集成電路生產環境的化學污染控制也有相關的要求。

凈化車間設計要點
設計方案。要確定凈化車間設計方案,必須先對房間的工作性質以及其中的氣流條件進行認真的考慮。發塵量大的車間不宜采用地面送風形式,潔凈度要求高的車間應盡可能遠離其它車間。
潔凈度與換氣次數。房間的潔凈度取決于單位時間的換氣次數,因此凈化車間設計要點需慎密考慮房間的工作性質、以及生產工藝要求,再決定凈化系統的技術參數。
