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多源有機無機蒸發?系統鈣鈦礦鍍膜設備公司

多源有機無機蒸發系統

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主要用途：

用于納米級單層及多層金屬膜、 半導體膜等新材料的制備。廣泛應用 于大專院校的薄膜材料科研。

系統組成:

由真空室、蒸發源、樣品臺、 真空測量、膜厚測試、電控系統組成。

技術指標：

極限真空度5.0×10-5Pa，系統漏率：1×10-7PaL/S； 恢復真空時間：40分鐘可達6.6×10 Pa

真空室：D形真空室，尺寸350× 380mm 

樣品臺：尺寸為4英寸厚度3mm的平面樣品；

電極：數量：4支水冷結構；直徑Φ20㎜

樣品基片:，基片在鍍膜位置實現自轉?；臏囟葟氖覝刂?00℃

4套擋板系統：基片擋板與源擋板；靶擋板共有3套， 樣品擋板（１套）

石英晶振膜厚控制儀：膜厚測量范圍0-999999? 

可選分子泵組或者低溫泵組合渦旋干泵抽氣系統。

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Parylene裂解儀

Parylene用獨特的真空氣相沉積工藝（CVD技術）制備，由活性小分子在基材表面'生長'出完全敷形的聚合物薄膜涂層，它能涂敷到各種形狀的表面，包括尖銳的棱邊，號稱'無孔不入'可深入裂縫里和內表面。派瑞林簡介Parylene(中文稱：派瑞林，或派拉倫)是對一系列獨特的高聚物的一個通常的稱呼。這種真空狀態下室溫沉積制備的0.1-100微米薄膜涂層，厚度均勻、致密無、透明無應力、不含助劑、不損傷工件、有優異的電絕緣性和防護性，甚至被業內稱為當今世界的防潮、防霉（零級）、防腐、防鹽霧的特殊防護涂層。Parylene涂層在具備以上優異防護性能基礎上,尤其還具有良好的生物兼容性,生物穩定性，并有優異的自潤滑性,涂層均勻可控性,以及好的物理機械性能。

1.一腔體，采用SUS304不銹鋼艙體有效鍍膜空間 ≧ 直徑300mm x 高度350mm，腔體設有觀景窗, 采用掀蓋式腔蓋并設有把手以便腔蓋開閉。

2. 旋轉平臺，可承載重量: 20公斤,旋轉速度: 0.5至10 rpm。

3. 油式泵浦，抽氣速度 ≧ 200L/min ; 壓力 ≦ 5*10-3Torr。

4. 控制系統，采用具PID功能之溫控模塊及高的精度溫度傳感器，系統可進行自動或半自動(溫控/真空)操作,并可儲存與選擇Recipe 。

5. 附屬冷凝機，溫度 ≦ -90℃

期望大家在選購電阻熱蒸發鍍膜產品時多一份細心，少一份浮躁，不要錯過細節疑問。想要了解更多電阻熱蒸發鍍膜產品的相關資訊，歡迎撥打圖片上的熱線電話?。?！

鈣鈦礦鍍膜機介紹

主要由有機/金屬源蒸發沉積室、真空排氣系統、真空測量系統、蒸發源、樣品加熱控溫、電控系統、配氣系統等部分組成。鈣鈦礦鍍膜機工作過程中樣品位于真空室上方，蒸發源位于真空室下方，向上蒸發鍍膜，且蒸發源帶有擋板裝置，防止蒸發源被污染。適用于制備金屬單質薄膜、半導體薄膜、氧化物薄膜、有機薄膜等，可用于科研單位進行新材料、新工藝薄膜研究工作，也可用于大批量生產前的試驗工作，廣泛應用于有機、無機、鈣鈦礦薄膜太陽能電池、OLED等研究領域。鈣鈦礦鍍膜機工作過程中樣品位于真空室上方，蒸發源位于真空室下方，向上蒸發鍍膜，且蒸發源帶有擋板裝置，防止蒸發源被污染。

沈陽鵬程真空技術有限責任公司以誠信為首,服務至上為宗旨。公司生產、銷售電阻熱蒸發鍍膜產品,公司擁有強大的銷售團隊和經營理念。想要了解更多信息，趕快撥打圖片上的熱線電話！