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發布時間:2020-08-11 06:22  





多源有機無機蒸發?系統有機無機聯合蒸發鍍膜機銷售
多源有機無機蒸發系統
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主要用途:
用于納米級單層及多層金屬膜、 半導體膜等新材料的制備。廣泛應用 于大專院校的薄膜材料科研。
系統組成:
由真空室、蒸發源、樣品臺、 真空測量、膜厚測試、電控系統組成。
技術指標:
極限真空度5.0×10-5Pa,系統漏率:1×10-7PaL/S; 恢復真空時間:40分鐘可達6.6×10 Pa
真空室:D形真空室,尺寸350× 380mm
樣品臺:尺寸為4英寸厚度3mm的平面樣品;
電極:數量:4支水冷結構;直徑Φ20㎜
樣品基片:,基片在鍍膜位置實現自轉。基片的溫度從室溫至600℃
4套擋板系統:基片擋板與源擋板;靶擋板共有3套, 樣品擋板(1套)
石英晶振膜厚控制儀:膜厚測量范圍0-999999?
可選分子泵組或者低溫泵組合渦旋干泵抽氣系統。
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電阻蒸發鍍膜機的結構以及特點
結構和特點:結構可為立臥式雙開門結構,成膜速率快,色澤鮮亮,膜層不易受污染,可獲得致密性好、純度高、膜厚均勻的膜層,不產生廢液、廢水,可避免對環境污染,屬環保設備。
沈陽鵬程真空技術有限責任公司本著多年電阻熱蒸發鍍膜產品行業經驗,專注電阻熱蒸發鍍膜產品研發定制與生產,先進的電阻熱蒸發鍍膜產品生產設備和技術,建立了嚴格的產品生產體系,想要更多的了解,歡迎咨詢圖片上的熱線電話?。。?