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              定制真空腔體價格信息推薦「在線咨詢」

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              發布時間:2021-10-02 18:53  






              真空腔體產品特點

              沈陽鵬程真空技術有限責任公司——專業真空腔體供應商,我們為您帶來以下信息。

              1.真空環境使用,高低溫真空環境使用;采用不銹鋼,鋁,陶瓷等出氣率低的材料制作;

              2.標準化設計,可根據客人要求定制不同形狀與使用環境腔體;

              3.氦氣檢漏,保壓老化,達到客戶的要求。

              應用范圍:軍類單位,大專院校,科研院所,航空航天,生物制藥,微電子,新能源,新材料等等。



              真空腔體概述

              真空設備包含很多組件,如真空腔體,真空密封傳導件,視口設置,真空傳感器,真空顯示表,沉積系統,蒸發源和蒸發材料,濺鍍靶材,等離子刻蝕設備,離子注入設備,真空爐,真空泵,法蘭,閥門和管件等。真空設備常用于脫氣,焊接,制備薄膜涂層,生產半導體/晶圓、光學器件以及特殊材料等。

              基板指的是一個大的法蘭適配器,可以把一個位置低的腔體或者鐘形罩連接到真空泵。基板通常有一個位于中心位置的端口或者法蘭連接裝置,可連接到真空抽氣系統。

              脫氣箱或者脫氣室通常是腔體結構,一般帶有鉸鏈接口,可連接不需要高真空環境的其他裝置,如塑料樣品、血液、粘合劑、化學制品或其他液體的除氣設備。

              輔助井用于連接抽氣系統和鐘形罩。

              基地井整合了基板和真空密封頸,用焊接接頭取代一個真空密封件,可以同時實現基板和密封設備兩個部件的功能。



              真空腔體——真空度的分類

              真空腔體可以按照真空度進行分類,包括粗或低真空度(< 760, > 1 torr),中真空度(< 1, >10-3 torr),高真空度(< 10-3, >10-8 torr),超高真空度(< 10-8 torr),以及非真空的高壓力 (> 760 torr)。真空腔的寬度和外徑等常規尺寸是非常重要的參數。標準鐘形罩或柱形腔體的可選直徑是12英寸,14英寸,18英寸和24英寸。

              真空腔體或者真空組件的可選項包括法蘭、裝配形式、表面拋光或電拋光、開口或傳導口,加熱器和冷卻方式等。



              真空腔體烘烤注意事項

              真空腔體烘烤時的真空度變化結果,烘烤采用纏繞加熱帶的方式。當真空度達到約10-3 Pa時,開始給加熱帶逐漸通電加熱,保持腔體在150℃下進行長時間烘烤。烘烤過程中關閉離子泵,同時也給離子泵通電進行加熱烘烤,這時的真空腔體只靠分子泵和前級泵來排氣。隨著腔體溫度的升高,腔體內表面吸附的水蒸氣等氣體分子大量放出,真空度會迅速惡化。氣體的放出量隨著烘烤時間的延長而逐漸減少,因此真空度也逐步好轉。停止烘烤時,切斷加熱帶和離子泵的烘烤電源,然后趁腔體仍處在高溫的狀態下對鈦升華泵進行除氣處理。鈦升華泵的除氣處理是指給Ti絲通電加熱,但又控制溫度在Ti升華溫度之下的操作。鈦升華泵除氣處理的目的是清除吸附在Ti絲表面的氣體分子以及其他可能的污染物,以確保鈦升華泵的正常工作。充分完成鈦升華泵的除氣處理之后,啟動離子泵和鈦升華泵,加大真空排氣的力度。隨著排氣力度的增大和由于腔體溫度降低而放出氣體的減少,系統的真空度會迅速好轉。

              新完成的腔體一次烘烤時,一般需要一周時間,重復烘烤后單獨的烘烤時間可以適當減少。為了更準確地測量真空度,停止烘烤后也應該對真空計進行除氣處理。如果真空泵能力充分而且烘烤時間充足的話,烘烤后真空度可提升幾個數量級。



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