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OLED有機無機聯合蒸發系統介紹

以下是沈陽鵬程真空技術有限責任公司為您一起分享的內容，沈陽鵬程真空技術有限責任公司專業生產電阻熱蒸發鍍膜產品，歡迎新老客戶蒞臨。

OLED有機無機聯合蒸發系統的用途 ：

適用于制備金屬單質薄膜、半導體薄膜、氧化物薄膜、有機薄膜等，可用于科研單位進行新材料、新工藝薄膜研究工作，也可用于大批量生產前的試驗工作。4、樣品架系統：可放置大小為Φ120mm的樣品，旋轉速度為：0～30轉/分。與手套箱聯合系統的用戶群體為科研院所及實驗室，將真空蒸發系統工作室置于Glove box無水、無氧、無塵的超純環境中，PVD與Glove box硬件無縫對接，操控融合一體，廣泛應用于有機、無機、鈣鈦礦薄膜太陽能電池、OLED等研究領域

Parylene裂解儀

Parylene用獨特的真空氣相沉積工藝（CVD技術）制備，由活性小分子在基材表面'生長'出完全敷形的聚合物薄膜涂層，它能涂敷到各種形狀的表面，包括尖銳的棱邊，號稱'無孔不入'可深入裂縫里和內表面。這種真空狀態下室溫沉積制備的0.1-100微米薄膜涂層，厚度均勻、致密無、透明無應力、不含助劑、不損傷工件、有優異的電絕緣性和防護性，甚至被業內稱為當今世界的防潮、防霉（零級）、防腐、防鹽霧的特殊防護涂層。Parylene涂層在具備以上優異防護性能基礎上,尤其還具有良好的生物兼容性,生物穩定性，并有優異的自潤滑性,涂層均勻可控性,以及好的物理機械性能。ParyleneD粉在更高溫度下具有相對更好的物理及電性能，同時與N、C型相比，具有更好的熱穩定性。

1.一腔體，采用SUS304不銹鋼艙體有效鍍膜空間 ≧ 直徑300mm x 高度350mm，腔體設有觀景窗, 采用掀蓋式腔蓋并設有把手以便腔蓋開閉。

2. 旋轉平臺，可承載重量: 20公斤,旋轉速度: 0.5至10 rpm。

3. 油式泵浦，抽氣速度 ≧ 200L/min ; 壓力 ≦ 5*10-3Torr。

4. 控制系統，采用具PID功能之溫控模塊及高的精度溫度傳感器，系統可進行自動或半自動(溫控/真空)操作,并可儲存與選擇Recipe 。

5. 附屬冷凝機，溫度 ≦ -90℃

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鈣鈦礦蒸發鍍膜機的特點

1、樣品位于真空室上方，蒸發源位于真空室下方，向上蒸發鍍膜，且蒸發源帶有擋板裝置。</span>

2、設有烘烤加熱功能，可在鍍膜過程中加熱樣品，烘烤加熱溫度可達180℃。

3、設有斷水、斷電連鎖保護報警裝置及防誤操作保護報警裝置。

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