磁控濺射鍍膜機價格免費咨詢【沈陽鵬程】

雙靶磁控濺射鍍膜系統(tǒng)

設備用途：

用于納米級單層及多層功能膜、硬質膜、金屬膜、半導體膜、介質膜等新型薄膜材料的制備。可廣泛應用于大專院校、科研院所的薄膜材料的科研與小批量制備。同時設備具有反濺射清洗功能，以提高膜的質量和牢固度。

設備組成

系統(tǒng)主要由濺射真空室、永磁磁控濺射靶（2個靶）、單基片加熱臺、直流電源、射頻電源、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、真空測量、電控系統(tǒng)及安裝機臺等部分組成。

以上就是關于磁控濺射產品的相關內容介紹，如有需求，歡迎撥打圖片上的熱線電話！

雙室磁控濺射系統(tǒng)

想了解更多關于磁控濺射產品的相關資訊，請持續(xù)關注本公司。

設備簡介

主要特點是設備體積小，結構簡單緊湊易于操作，對實驗室供電要求低；如果您對磁控濺射產品感興趣，歡迎點擊左右兩側的在線客服，或撥打咨詢電話。該系列設備主要部件采用進口或者國內最優(yōu)的配置，從而提高設備的穩(wěn)定性；另外自主開發(fā)的智能操作系統(tǒng)在設備的運行重復性及安全性方面得到更好地保障。 目前該系列有基本型、旗艦型、豪華型、尊享型4種不同配置可供選擇，可以根據(jù)客戶的不同需求進行配置，比較靈活；標配4只Φ2英寸永磁靶，4臺500W直流濺射電源，主要用來開發(fā)納米級單層及多層的金屬導電膜、半導體膜以及絕緣膜等。

濺射鍍膜

濺射鍍膜就是在真空中利用荷能粒子轟擊靶表面，使被轟擊出的粒子沉積在基片上的技術。通常，利用低壓惰性氣體輝光放電來產生入射離子。陰極靶由鍍膜材料制成，基片作為陽極，真空室中通入0.1-10Pa的氣或其它惰性氣體，在陰極（靶）1-3KV直流負高壓或13.56MHz的射頻電壓作用下產生輝光放電。輝光區(qū)發(fā)射出電子、離子、中性原子、光子等，這些組成等離子體（宇宙99%以上的組成物質為等離子體）輝光和基體之間電壓降很小。電離出的離子轟擊靶表面，使得靶原子濺出并沉積在基片上，形成薄膜。濺射方法很多，主要有二級濺射、三級或四級濺射、磁控濺射、對靶濺射、射頻濺射、偏壓濺射、非對稱交流射頻濺射、離子束濺射以及反應濺射等。

想要了解更多磁控濺射產品的相關信息，歡迎撥打圖片上的熱線電話！