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發布時間:2020-08-07 07:17  
微孔注入法
通常微孔注入法, 但需要專門設備。在微通孔注入系統中, 影響通孔填充質量的主要因素包括注入壓力、注入時間、填充漿料黏度和LTCC 瓷帶和通孔填充掩模版之間的對準情況。一旦確定了適合整個制作過程的參數, 就可以在幾秒鐘之內在LTCC 生瓷帶層上填充幾千個通孔。關注微孔金屬化的未填、過填和少填。未填是沒有填入漿料的通孔, 或只填了部分導體漿料。未填孔可以通過逆光看到, 且有時不需顯微鏡的幫助。過填指通孔周圍的漿料超出了通孔范圍。漿料的超出量取決于孔徑和孔距。少填指通孔中雖無空隙但未填滿漿料, 少填的通孔不能通過逆光發現。

LTCC基板排膠與燒結
實現零收縮的工藝有:自約束燒結,基板在自由共燒過程中呈現出自身抑制平面方向收縮的特性,該方法無需增設新設備,但材料系統,不能很好地滿足制造不同性能產品的需要;壓力輔助燒結,通過在Z 軸方向加壓燒結,抑制X-Y 平面上的收縮;無壓力輔助燒結,在疊層體材料間加入夾層(如在LTCC 燒結溫度下不燒結的氧化鋁),約束X 和Y 軸方向的移動,燒成后研磨掉上下面夾持用的氧化鋁層;復合板共同壓燒法,將生坯黏附于一金屬板(如高機械強度的鉬或鎢等)進行燒結,以金屬片的束縛作用降低生坯片X-Y 方向的收縮;陶瓷薄板與生坯片堆棧共同燒結法,陶瓷薄板作為基板的一部分,燒成后不必去除,也不存在抑制殘留的隱憂。
微電子器件試驗方法和程序:
將基板垂直浸入,放在(215±5)℃熔融焊料的錫槽中,每次58,總計10次(焊料成分為63Sn37Pb的共晶焊料,焊劑為25%的松香酒精溶液)清洗,涂焊劑,被檢圖形應無翹皮、脫落、斷裂、被熔蝕的面積不大于20%。上述3種試樣均能通過耐焊性的試驗檢測標準,且未見被熔蝕的地方,隨后將上述3種試樣(新的試樣)金屬化層表面上放置涂有焊劑的焊片,在氮氣保護下,240℃(設置值)的熱臺上加熱保持,觀察焊料對相應試樣金屬化層表面的熔蝕情況。
