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發布時間:2020-08-27 17:07  





使用烘箱時應該注意什么?
帶有電接點水l銀溫度計式溫控器的烘箱應將電接點溫度計的兩根導線分別接至箱頂的兩個接線柱上。另將一支普通水l銀溫度計插入排氣閥中,(排氣閥中的溫度計是用來校對電接點水l銀溫度計和觀察箱內實際溫度用的)打開排氣閥的孔。調節電接點水l銀溫度計至所需溫度后緊固鋼帽上的螺絲,以達到恒溫的目的。但必須注意調節時切勿將指示鐵旋至刻度尺外。
熱風循環烘箱工作原理
當保溫滅菌時間達到設定值時,時間繼電器輸出信號給PLC,PLC輸出全閉電加熱,開啟水冷卻電磁閥,使其吸合導通,從而箱體處于冷卻降溫階段。當箱內溫度下降≤40℃時,溫控儀輸出控制信號給PLC,PLC輸出關閉熱風循環風機,干燥滅菌周期程序結束。 TEED一2001 K超溫報警溫控儀輸出信號控制PLC整個程序的運行,鉑電阻PT 100測試信號至報警溫控儀與超溫報警設置溫度值進行比較,當實際溫度值低于設定值時,輸出控制信號給PLC,PLC程序正常運行。當實際溫度值超過設定值時,輸出控制信號給PLC,PLC關閉運行程序。故超溫報警的設置值一般要高于工作溫度的設定值。
熱風循環烘箱的常見故障
核對一下GCD一23A型智能電腦溫控儀的PID調節參數,看是否人為誤操作,致使設置參數變更,從而使得系統出現動作異常。PID參數直接影響著系統的調節精度,是控制系統設計的核心內容。通過適當的PID參數,PID控制可以根據系統被控過程的誤差特性,利用比例、積分、微分計算出系統控制量,得到相應的輸出響應特性,控制系統使其達到滿意的控制效果。恢復PID參數正常設置值。其次檢測循環風機運轉是否正常,轉向是否正確。如果風機反轉或風機負載太大而轉速過慢,都將影響熱風循環不暢通。當風機反轉時,可將風機的電源任意兩相倒換;當風機轉速過慢時,應從兩個方面進行檢查:(1)電氣方面電源電壓是否正常,有無缺相或繞組斷路現象。
熱風循環烘箱在光刻中的應用是如何的?
1、在硅片上涂覆光刻膠{ */}。粘合劑或硅片放置在惰性氣體中進行熱處理。該工藝旨在提高光刻膠與硅片之間的附著力,防止顯影時間的延長,防止濕腐蝕過程。使用粘合劑的防腐劑。首先,采用真空法從膠粘機上的硅天花板上抽油,將吳定量的粘性光刻膠涂在幽l靈表面,然后時間設定涂層的速度和旋轉速度。在離心力作用下,光刻膠表面均勻分散,去除多余的光刻膠,獲得吳定厚度的光刻膠膜。膠厚控制膠的粘度和橡膠的速度,預干燥由于溶劑緩蝕劑作用,在80℃的硅片上,防腐劑是干的。微波爐是吳種惰性氣體,干燥時間通常在15-30分鐘之間的光刻膠清除器。
2、掩碼對齊
由于集成電路的制造過程是吳層的過程,所以每個層的位置不能移動。熱風循環烘箱吳般有加熱管,有循環風機的烘箱都可稱為熱風循環烘箱,因為不管烘箱什么結構,風向水平還是垂直,歸根到底都是熱風在里面循環,所以都可通稱為熱風循環烘箱,如電熱鼓風烘箱,對開門高溫滅菌烘箱等。掩模和晶片可以對齊在晶片上。