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發布時間:2020-10-18 15:21  










磁控濺射是入射粒子和靶的碰撞過程。入射粒子在靶中經歷復雜的散射過程,和靶原子碰撞,把部分動量傳給靶原子,此靶原子又和其他靶原子碰撞,形成級聯過程。在這種級聯過程中某些表面附近的靶原子獲得向外運動的足夠動量,離開靶被濺射出來。
種類
磁控濺射包括很多種類。各有不同工作原理和應用對象。但有一共同點:利用磁場與電子交互作用,使電子在靶表面附近成螺旋狀運行,從而增大電子撞擊氬氣產生離子的概率。所產生的離子在電場作用下撞向靶面從而濺射出靶材。
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靶源分平衡和非平衡式,平衡式靶源鍍膜均勻,非平衡式靶源鍍膜膜層和基體結合力強。平衡靶源多用于半導體光學膜,非平衡多用于磨損裝飾膜。磁控陰極按照磁場位形分布不同,大致可分為平衡態和非平衡磁控陰極。平衡態磁控陰極內外磁鋼的磁通量大致相等,兩極磁力線閉合于靶面,很好地將電子/等離子體約束在靶面附近,增加碰撞幾率,提高了離化效率,因而在較低的工作氣壓和電壓下就能起輝并維持輝光放電,靶材利用率相對較高,但由于電子沿磁力線運動主要閉合于靶面,基片區域所受離子轟擊較小.非平衡磁控濺射技術概念,即讓磁控陰極外磁極磁通大于內磁極,兩極磁力線在靶面不完全閉合,部分磁力線可沿靶的邊緣延伸到基片區域,從而部分電子可以沿著磁力線擴展到基片,增加基片區域的等離子體密度和氣體電離率.不管平衡非平衡,若磁鐵靜止,其磁場特性決定一般靶材利用率小于30%。為增大靶材利用率,可采用旋轉磁場。但旋轉磁場需要旋轉機構,同時濺射速率要減小。旋轉磁場多用于大型或貴重靶。如半導體膜濺射。對于小型設備和一般工業設備,多用磁場靜止靶源。


平衡軸技術(上圖中白色線框內所示結構)是一項結構簡單并且非常實用發動機技術,它可以有效減緩整車振動,提高駕駛的舒適性。也許有的消費者會問,為什么要在部分引擎里設計這個結構?要搞明白這一問題首先我們需要弄清一件事--“發動機振動原理”。
當發動機處在工作狀態時,活塞的運動速度非常快,而且速度很不均勻。當活塞位于上下止點位置時,其速度為零,但在上下止點中間位置的速度則達到。由于活塞在氣缸內做反復的高速直線運動,因此必然會在活塞、活塞銷和連桿上產生較大的慣性力。雖然連桿上的配重可以有效地平衡這些慣性力,但卻只有一部分運動質量參與直線運動,另一部分參與了旋轉。因而除了上下止點位置外,其它慣性力并不能完全達到平衡狀態,此時的發動機便產生了振動。
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自動變速箱簡稱AT,全稱Auto Transmission,它是由液力變扭器、行星齒輪和液壓操縱系統組成,通過液力傳遞和齒輪組合的方式來達到變速變矩。
和手動擋相比,自動變速箱在結構和使用上有很大不同。手動擋主要通過調節不同齒輪組合來更換擋位,而自動變速箱是通過液力傳遞和齒輪組合的方式來達到變速的目的。其中液力變扭器是自動變速箱特點的部件,它由泵輪、渦輪和導輪等構件組成,泵輪和渦輪是一對工作組合,泵輪通過液體帶動渦輪旋轉,而泵輪和渦輪之間的導輪通過反作用力使泵輪和渦輪之間實現轉速差并實現變速變矩功能,對駕駛者來說,您只需要以不同力度踩住踏板,變速箱就可以自動進行擋位升降。由于液力變矩器自動變速變矩范圍不夠大,因此在渦輪后面再串聯幾排行星齒輪,液壓操縱系統會隨發動機工作變化自行操縱行星齒輪,從而實現自動變速變矩。為了滿足行駛過程中的多種需要(如泊車、倒車)等,自動變速箱還設有一些手動撥桿位置,像P擋(停泊)、R擋(后擋)、N擋(空擋)、D擋(前進)等。
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