東沙群島真空泵刮片維修優選企業“本信息長期有效”

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分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用，既提高了生產效率又改善了膜層質量。隨著中國半導體工業、薄膜產業和科學研究事業迅速發展，分子泵應該是中國真空泵制造業發展的重點。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿足不同場合的需要。

國外干泵市場的不斷增長，其主要驅動來自于半導體行業、化學工業、薄膜產業的迅速發展。在日本，半導體行業已全部用干式真空泵代替油封式機械泵，歐美半導體行業45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，大大提高了產品的性能和質量。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。

  往復式真空泵的工作原理圖，往復式真空泵的主要部件是氣缸1及在其中作往復直線運動的活塞2，活塞的驅動是用曲柄連桿機構3（包括十字頭）來完成的。除上述主要部件外還有排氣閥4和吸氣閥5等重要部件，以及機座、曲軸箱、動密封和靜密封等輔助部件。運轉時，在電動機的驅動下，通過曲柄連桿機構的作用（旋轉運動轉變成直線運動），使氣缸內的活塞作往復運動。當活塞在氣缸內從左端向右端運動時，由于氣缸的左腔體積不斷增大，左腔空間的壓強不斷的降低，當左腔空間內的壓強低于被抽容器內的壓強，根據氣體壓強平衡的原理，被抽容器內的氣體經過吸氣閥5不斷地被抽進左腔，此時正處于吸氣過程。當活塞達到右位置時，氣缸左腔內就充滿了氣體。接著活塞從右端向左端運動，此時吸氣閥5自動關閉。氣體隨著活塞從右往左運動而逐漸被壓縮。當氣缸內的氣體達到排氣壓力時，此時排氣閥4被打開，氣體被排出，完成了一個工作循環。當活塞在從左端向右端運動時，重復上述循環，如此反復下去，被抽容器內終達到某一穩定的平衡壓力為提高抽氣效率，一般在氣缸的兩端均設有吸氣閥和排氣閥，然后用管路將氣缸兩端的吸氣口和排氣口并聯起來。

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什么叫流量？用什么字母表示？

單位時間內泵排出液體的體積叫流量，流量用Q表示，計量單位：立方米/小時（m3/h）,升/秒（l/s）, L/s=3.6 m3/h=0.06m3/min=60L/min

G=Qρ G為重量 ρ為液體比重

例:某臺泵流量50 m3/h，求抽水時每小時重量？水的比重ρ為1000公斤/立方米。

解：G=Qρ=50×1000(m3/h·kg/ m3)=50000kg / h=50t/h

七、什么叫揚程？用什么字母表示？

單位重量液體通過泵所獲得的能量叫揚程。泵的揚程包括吸程在內，近似為泵出口和入口壓力差。揚程用H表示，單位為米（m）。泵的壓力用P表示，單位為Mpa（兆帕），H=P/ρ.如P為1kg/cm2，則H=（lkg/cm2)/(1000kg/ m3) H=(1kg/ cm2)/(1000公斤/m3)=(10000公斤/m2)/1000公斤/m3=10m
 

什么是泵的特性曲線？

通常把表示主要性能參數之間關系的曲線稱為離心泵的性能曲線或特性曲線，實質上，離心泵性能曲線是液體在泵內運動規律的外部表現形式，通過實測求得。特性曲線包括：流量-揚程曲線（Q-H），流量-效率曲線（Q-η），流量-功率曲線（Q-N），流量-汽蝕余量曲線（Q-（NPSH）r），性能曲線作用是泵的任意的流量點，都可以在曲線上找出一組與其相對的揚程，功率，效率和汽蝕余量值，這一組參數稱為工作狀態，簡稱工況或工況點，離心泵點的工況稱為工況點，工況點一般為設計工況點。一般離心泵的額定參數即設計工況點和工況點相重合或很接近。在實踐選效率區間運行，即節能，又能保證泵正常工作，因此了解泵的性能參數相當重要。