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發布時間:2020-07-19 00:02  
無塵室主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為無塵室。
每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A。應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也就是業內俗稱的1K級別。潔凈室(無塵室)吸塵器的主要組成:大扒頭:當清掃地面面積較大時,使用大扒頭可有效快速的提高工作效率。
潔凈管道(Clean Tube):將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離,少量之送風即可得到良好之潔凈度,可節省能源,不需人工的自動化生產線為適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。并裝局部無塵室(Clean Spot):將無塵室等級10,000~100,000之亂流無塵室內之產品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產之用;無塵室內的氣流是左右無塵室性能的重要因素,一般無塵室的氣流速度是選0。潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。潔凈工作臺:等級Class 1~100級。
無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間,其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當的微粒潔凈度級別。無塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。 單流向型無塵室,很多都是設計成垂直層流,因此風速均勻度非常重要,只有均勻的垂直層流,才能有效排除微粒污染。非單流向型無塵室,由于微粒控制的觀念是稀釋,不是立即排除,一般而言其換氣量遠比風速重要,因此多只需要測量風量。6)人類在頭部和軀干做動作時每分鐘將產生1000000個大于0。