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真空設(shè)備氦檢漏

深圳銳誠(chéng)真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營(yíng)高科技企業(yè)。真空檢漏設(shè)備真空檢漏設(shè)備深圳銳誠(chéng)真空技術(shù)多年技術(shù)經(jīng)驗(yàn)，為您解決后顧之憂，歡迎您撥打電話~~~以上就是關(guān)于真空泵真空設(shè)備檢漏維修的相關(guān)內(nèi)容介紹，如有需求，歡迎撥打圖片上的熱線電話。主營(yíng)產(chǎn)品：真空設(shè)備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標(biāo)真空設(shè)備，真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。

真空檢漏設(shè)備真空檢漏設(shè)備

(1)工作原理與結(jié)構(gòu)

   氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。

   ①單級(jí)磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀

   現(xiàn)以HZJ—l型儀器為例．介紹單級(jí)磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀。

   在質(zhì)譜室內(nèi)有：由燈絲、離化室、離子加速極組成離子源；由外加均勻磁場(chǎng)、擋板及出口縫隙組成分析器；由抑制柵、收集極及高阻組成收集器；級(jí)放大靜電計(jì)管和冷陰極電離規(guī)。。

   在離化室N內(nèi)，氣體電離成正離子，在電場(chǎng)作用下離子聚焦成束。并在加速電壓作用下以一定的速度經(jīng)過加速極S1的縫隙進(jìn)入分析器。在均勻磁場(chǎng)的作用下，具有一定速度的離子將按圓形軌跡運(yùn)動(dòng)，其偏轉(zhuǎn)半徑可計(jì)算。

   可見，當(dāng)B和U為定值時(shí)，不同質(zhì)荷比me-1的離子束的偏轉(zhuǎn)半徑R不同。儀器的B和R是固定的，調(diào)節(jié)加速電壓U使氦離子束恰好通過出口縫隙S2，到達(dá)收集器D，形成離子流并由放大器放大。使其由輸出表和音響指示反映出來；而不同于氦質(zhì)荷比的離子束[(me-1)1(me-1)3]因其偏轉(zhuǎn)半徑與儀器的R值不同無法通過出口縫隙S2，所以被分離出來。絕dui壓力表示讀數(shù)是絕dui值，即讀數(shù)愈靠近‘0'，真空度愈高。(me-1)2=4，即He 的質(zhì)荷比，除He 之外，C卅很少，可忽略。

   ②雙級(jí)串聯(lián)磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀

  由于兩次分析，減少了非氦離子到達(dá)收集器的機(jī)率。并且，如在兩個(gè)分析器的中間，即圖中的中間縫隙S2與鄰近的擋板間設(shè)置加速電場(chǎng)，使離子在進(jìn)入第二個(gè)分析器前再次被加速。隨著中國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)該是中國(guó)真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。那些與氦離子動(dòng)量相同的非氦離子，雖然可以通過個(gè)分析器，但是，經(jīng)第二次加速進(jìn)入第二個(gè)分析器后，由于其動(dòng)量與氦離子的不同而被分離出來。由于二次分離，儀器本底及本底噪聲顯著地減小，提高了儀器靈敏度。

   ③逆流氦質(zhì)譜檢漏儀

   逆流氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)油擴(kuò)散泵或分子泵的壓縮比與氣體種類有關(guān)的原理制成的。例如，多級(jí)油擴(kuò)散泵對(duì)氦氣的壓縮比為102；對(duì)空氣中其它成分的壓縮比為lO4～106。檢漏時(shí)，通過被檢件上漏孔進(jìn)入主抽泵前級(jí)部位的氦氣，仍有部分返流到質(zhì)譜室中去，并由儀器的輸出指示示出漏氣訊號(hào)。抽氣速率在一定的壓強(qiáng)和溫度下，單位時(shí)間內(nèi)由泵進(jìn)氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率，簡(jiǎn)稱抽速。這就是逆流氦頃質(zhì)譜檢漏儀的工作原理。

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真空設(shè)備檢漏

深圳銳誠(chéng)真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營(yíng)高科技企業(yè)。2)抽氣量:無油渦旋真空泵由于內(nèi)部結(jié)構(gòu)問題，抽氣量較小，只適用于小抽氣量的工藝中。主營(yíng)產(chǎn)品：真空設(shè)備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標(biāo)真空設(shè)備，真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。

檢漏就是用一定的手段將示漏物質(zhì)加到被檢設(shè)備或密封裝置器壁的一側(cè)，用儀器或某一方法在另一側(cè)懷疑有泄漏的地方檢測(cè)通過漏孔漏出的示漏物質(zhì)，從而達(dá)到檢測(cè)的目的。檢漏的任務(wù)就是在制造、安裝、調(diào)試過程中，判斷漏與不漏、泄漏率的大小，找出漏孔的位置；在運(yùn)轉(zhuǎn)使用過程中監(jiān)視系統(tǒng)可能發(fā)生的泄漏及其變化。在確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度，因?yàn)橄到y(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的最jia工作真空度。

氦質(zhì)譜檢漏儀吸嘴法

用于真空殘余氣體分析的質(zhì)譜儀都可以用來檢漏（其示漏物質(zhì)有氫、氦、ya等），但檢漏靈敏度各不相同。專門用來檢漏的質(zhì)譜儀叫質(zhì)譜檢漏儀。其特點(diǎn)是靈敏度高，性能穩(wěn)定。此時(shí)，排氣口可以從左或右兩個(gè)方向開口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。特別是用氦做示漏氣體的氦質(zhì)譜檢漏儀，是真空檢漏中靈敏度gao、用得普遍的一種檢漏儀器。

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