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發布時間:2020-07-15 11:12  





烘箱選型依據及理由 因為烘箱用在光刻工藝, 所以對其的潔凈度要求比較高, 同時用于膜的固化 等工藝, 保持片內的均勻性、 溫控系統也是要求較高。保溫層則由高密度硅酸鋁棉填充,高密度硅酸鋁棉保證了烘箱的保溫性,也確保了使用者的安全性。 烘箱的生產廠家國內和國 外都比較多, 用途也是多元化的, 從價格角度考慮, 則把國內生產的烘箱放在首 位, 因為不論是售后服務還是備件購買都會相對容易一些, 價格很低很多。 但光 刻工藝中要求嚴格控制烘箱產生的顆粒度。
烘箱的工作原理
箱體的溫度控制采用了智能電腦溫控和PLC自控系統,溫度信號的采集用鉑電阻,經溫度控制器的放大與設定值進行比較得到PID控制信號,同時PLC程控器輸出控制信號控制固態繼電器SSR導通,固態繼電器再控制加熱器加熱,使箱體處于升溫除濕階段。隧道烘箱又叫流水線烘箱,一般是通過加熱方式進行烘干的,沒有真空烘干方式,跟流水線似的,一般可以連續工作。當溫度達到設定值時,溫控儀輸出PID控制信號PLC,PLC輸出控制信號給時間繼電器KT,使其開始保溫計時,同時,關閉進風機和排風碟閥。