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發布時間：2020-07-25 09:02
危害磁控濺射勻稱性的要素
創世威納——技術專業磁控濺射鍍膜機經銷商，人們為您提供下列信息內容。
靶基距、標準氣壓的危害靶基距都是危害磁控濺射塑料薄膜薄厚勻稱性的關鍵加工工藝主要參數，塑料薄膜薄厚勻稱性在必須范圍之內隨之靶基距的擴大有提升的發展趨勢，無心插柳工作中標準氣壓都是危害塑料薄膜薄厚勻稱性關鍵要素。可是，這類勻稱是在小范圍之內的，由于擴大靶基距造成的勻稱性是提升靶上的一點兒相匹配的板材上的總面積造成的，而提升工作中標準氣壓是因為提升物體光學散射造成的，顯而易見，這種要素只有在小總面積范圍之內起功效。磁控濺射鍍機磁控濺射鍍一層薄薄的膜是工業化中必不可少的技術性之首，磁控濺射鍍一層薄薄的膜技術性正運用于全透明導電膜、電子光學膜、超硬膜、耐腐蝕膜、帶磁膜、增透膜、減反膜及其各種各樣裝飾膜，在國防安全和社會經濟生產制造中的功效和影響力日漸強勁。
濺射原理
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1.1 濺射定義
就像往平靜的湖水里投入石子會濺起水花一樣，用高速離子轟擊固體表面使固體中近表面的原子（或分子）從固體表面逸出，這種現象稱為濺射現象。
1.2 濺射的基本原理
濺射是指具有足夠高能量的粒子轟擊固體表面使其中的原子發射出來。早期人們認為這一現象源于靶材的局部加熱。但是不久人們發現濺射與蒸發有本質區別，并逐漸認識到濺射是轟擊粒子與靶粒子之間動量傳遞的結果。
磁控濺射鍍膜機的優勢
1.實用性：設備集成度高，結構緊湊，占地面積小，可以滿足客戶實驗室空間不足的苛刻條件；通過更換設備上下法蘭可以實現磁控與蒸發功能的轉換，實現一機多用；
2.方便性：設備需要拆卸的部分均采用即插即用的方式，接線及安裝調試簡單，既保證了設備使用方便又保證了設備的整潔；
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磁控濺射
（1）各種功能性薄膜：如具有吸收、透射、反射、折射、偏光等作用的薄膜。例如，低溫沉積氮化硅減反射膜，以提高太陽能電池的光電轉換效率。
（2）裝飾領域的應用，如各種全反射膜及半透明膜等，如手機外殼，鼠標等。
（3） 在微電子領域作為一種非熱式鍍膜技術，主要應用在化學氣相沉積（CVD）或金屬有機
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