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發布時間:2020-12-19 06:37  





真空檢漏
真空檢漏技術就是用適當的方法判斷真空系統、容器或器件是否漏氣、確定漏孔位置及漏率大小的一門技術,相應的儀器稱為檢漏儀。在真空系統、容器、器件制造過程中借助真空檢漏技術確定它們的真空氣密性、探查漏孔的位置,以便采取措施將漏孔封閉從而使系統、容器、器件中的真空狀態得以維持。
漏率的大小需進行校準后方能確定。一般采用比較法,即將被檢漏孔與標準漏孔在檢漏儀上進行比較,就可得出被檢漏孔的漏率。 檢測真空系統或其零部件的漏孔的方法。對一定的容器進行足夠長時間的抽氣后,容器壓力不再變化,這時的抽氣量必定與容器的漏氣量和放氣量之和相等,即puSe=qL q0,式中pu為容器的極限壓力,Se為容器排氣口處的有效抽氣速率,qL和q0分別為容器的漏氣量和放氣量。如放氣量少到可以不計,則平衡式變為puSe=qL,或pu=qL/Se。這說明容器的極限壓力由漏氣量與有效抽氣速率的比值決定。如抽氣速率一定(常數),要得到低的極限壓力便應降低漏氣量,檢漏便是關鍵的措施。
漏孔就是真空容器的孔洞和孔隙。容器內外的壓力差會使氣體通過漏孔從容器的一側通向大氣側。漏孔一般很微小,實際上不能測出漏孔的具體大小,所以漏孔大小都用漏率(在規定的條件下氣體流過漏孔的流量)來表示。漏孔兩側存在著壓力差,即可利用氣體流動引起的效應來檢漏。為便于檢漏和易于檢測出漏孔的位置,一般盡可能縮小檢測的面積范圍,所以先側重于對零部件的檢漏。零部件經過嚴格的檢漏,組裝后就可避免漏氣。
氦質譜檢漏儀
1.智能化:以往的氦質譜檢漏儀操作非常輔助,而現在的觸屏式,自動檢測。
2.便捷化:這幾年市場上各種小型便捷的檢漏儀能夠為行業提供小巧而靈敏性高的設備。
3.自動化程度高:自動校準氦峰,自動調節0點,量程自動轉換,自動數據處理,可外接打印機。整機由微機控制,菜擇功能,一個按鈕即可完成全檢漏過程。
4.全無油的干式檢漏:有些國家生產的檢漏儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏,提供了有利條件。
5.檢漏范圍寬:現今生產的四極檢漏儀,質量范圍很寬,不僅可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。
氦氣檢測方法
深圳銳誠真空——專業氦檢漏設備供應商,我們為您帶來以下信息。
1 氦氣測量精度較高。
在室溫和大氣壓力下,氦是無色、無味的氣體,是人類發現臨界溫度的物質。氦是單原子氣體,化學性質不活潑。氦氣一般不生成化合物,在低壓放電管中受激發可形成He 2、HeH等離子及分子,廣泛應用于、科研、石化、制冷、、半導體、管道檢漏、超導實驗、金屬制造、深海潛水、焊接、光電子產品生產等。由于氦氣是惰性氣體,因此不會腐蝕設備。應用氦氣質譜檢測儀,能夠將檢測合格及不合格的鋁合金車輪自動區分到不同的地方,使輪胎的質量風險降低,防止微小漏氣造成的安全隱患。
2 降低人工成本。
由于氦氣氣密檢測設備是全自動操作設備,既不需要人工搬運鋁合金車輪,也不需要操作人員目不轉睛地觀察,實現自動化,使得人工成本得到降低。
3 .大大提升檢測效率。
正常情況下,每班次能夠檢測鋁合金車輪1300只,每年就可以檢測140多萬只鋁合金車輪,而傳統的氣泡檢測設備每班次只能檢測300只,每年檢測30多萬只。由此可見,應用氦氣檢測方法,能夠使檢測效率得到大大提升。
氦質譜檢漏儀的不同測量方法滿足多種需求
氦質譜檢漏儀中氦質譜檢漏系統的關鍵部件均為進口,性能穩定可靠。秀長的體積,優越的性能,適用于眾多行業。運用了氦質譜和逆擴散原理,采用了原裝進口分子泵、180°非均勻磁場和全自動控制技術,實現了自動氦峰掃描、自動調零、自動校準和自動量程切換,具有檢測速度快、檢測靈敏度高、抗干擾能力強等特點。氦質譜檢漏儀可以對具有內腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。 此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣,氦氣具有質量數小、重量輕并且有滲透能力強的優點,達到了細檢漏的目的。
氦質譜檢漏儀特點:
1.檢測時間和響應周期非常短,可以達到2s以內;
2.檢測的介質比較常用,僅需壓縮空氣即可;
3.多種大漏保護模式,充分保護離子源不被氧化和暴漏大氣時分子泵不被沖擊;
4.大漏檢測功能:可通過預設壓力,抽空時,達不到預設值,檢漏儀自動報警提示。
5.多種計量單位選擇,檢測數據實時更新,直接輸出生成Excel表格。