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              發(fā)布時(shí)間:2020-12-19 03:24  

              金剛石線切割設(shè)備

              金剛石線切割設(shè)備成為研究和發(fā)展的主流趨勢,本文介紹國外硅片切割設(shè)備研究的新進(jìn)展以及國內(nèi)發(fā)展?fàn)顩r,并介紹筆者參與研制的金剛石環(huán)形線鋸機(jī)的功能、特點(diǎn)和設(shè)計(jì)心得體會(huì)及金剛石單線和環(huán)線切割機(jī)應(yīng)用前景展望。

              目前,硬脆性材料,如單晶硅、多晶硅、寶石、玻璃、陶瓷等,具有優(yōu)良、穩(wěn)定的物理和化學(xué)性能(如抗腐蝕性、電絕緣性,耐磨損性等),在電子、光學(xué)及其它領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用、,特別是單晶硅、多晶硅、陶瓷材料被廣泛用于太陽能光伏產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體、真空電鍍等高精端產(chǎn)業(yè)中。硬脆材料切割加工主要工藝要求為:高效率、低成本、窄切縫(材料利用率高)、無損傷、無環(huán)境污染等。伴隨半導(dǎo)體、光伏材料技術(shù)的發(fā)展,需求量不斷增加,切割加工量大幅增長,由于硬脆材料硬度高、脆性大,因此加工難度較大。




              金剛線切割技術(shù)

              金剛線切割技術(shù)也被稱為固結(jié)磨料切割技術(shù)。它是利用電鍍或樹脂粘結(jié)的方法將金剛石磨料附著在鋼線表面,將金剛線直接作用于硅棒或硅錠表面產(chǎn)生磨削,達(dá)到切割的效果。

              金剛線切割具有切割速度快,切割精度高,材料損耗低等特點(diǎn)。切割線的技術(shù)突破是硅片加工成本下降的重要途徑。金剛石線切割速度是普通鋼線的2 倍,因此單位產(chǎn)量的折舊、人工和能源成本將降低一半。



              ?電火花線切割

              電火花線切割加工要求被加工材料必須導(dǎo)電,其工作原理是在絕緣油介質(zhì)中,靠金屬切割盤與試樣之間產(chǎn)生的電弧起切割作用。基于金剛線本身性能與普通鋼線的差異,金剛線切割對切片機(jī)的設(shè)備提出了更高的要求。將工件接入脈沖電源正極,采用鉬絲或銅絲作為切割金屬絲,將金屬絲接高頻脈沖電源負(fù)極作為工具電極,利用火花放電對加工零件進(jìn)行切割。脈沖電源提供加工能量,加工過程中應(yīng)用專用的線切割工作液清除加工中產(chǎn)生的碎屑,切割過程中若工件材料過厚時(shí),工作液較難進(jìn)入和充滿放電間隙,會(huì)對加工精度和表面粗糙度造成影響。

              而金剛石線切割不存在導(dǎo)電的問題,其加工精度和粗糙度都大幅提升



              柔性切割

              切割速度的選擇:

              金剛石線鋸的切割屬于柔性切割,利用金剛石顆粒的硬度比被切割的材料堅(jiān)硬,切割過程中不銹鋼線上鍍有的金剛石顆粒層與被切材料進(jìn)行往復(fù)磨削,達(dá)到切割的目的。元素金剛石線鋸,在其出現(xiàn)的短短兩年內(nèi)已經(jīng)在光伏、石墨、輪胎生產(chǎn)等行業(yè)內(nèi)被廣泛應(yīng)用,并且有市場反饋越來越多的企業(yè)也在主動(dòng)詢問環(huán)形金剛石線的情況并考慮使用。根據(jù)材料特性,一般硬度適中(莫氏硬度<9)的脆性材料切割速度可適當(dāng)快一些,如硅、石墨、壓電陶瓷、玻璃等。這是因?yàn)檫@些材料遠(yuǎn)沒有金剛石堅(jiān)硬,當(dāng)金剛石線與其進(jìn)行磨削時(shí)會(huì)很容易將材料磨削成顆粒進(jìn)而切割。當(dāng)切割金屬或混合型材料或者難于切割的陶瓷材料,切割速度要盡可能慢。



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