江蘇電容測微儀常用解決方案

善測（天津）科技有限公司依托高校科研與國家重點實驗室的資源和技術(shù)優(yōu)勢，截止2016年底，公司僅在成立1年多的時間里,高技術(shù)人才隊伍已擴充至12人。已申請專利數(shù)量達8項,2016年公司營業(yè)額突出210萬元。預(yù)計2017年再申報10項專利,營業(yè)額達到700萬元。

在2017年新的一年里，善測科技公司將在以下幾個項目里完成預(yù)計的進度和新的突破。   1、高精度精密電容測微儀預(yù)計在2017年中旬完成高、中、低檔產(chǎn)品系列化。目前高duan產(chǎn)品已經(jīng)開始小批量生產(chǎn)。2、振動及間隙測量系統(tǒng)已經(jīng)完成升級優(yōu)化，目前正與天津大學(xué)聯(lián)合參與商發(fā)機載項目合作，已完成工程樣機評審，預(yù)計2017年進行初步測試。3、便攜式LIBS重金屬檢測儀處于實驗室原理驗證階段，預(yù)計2017年下半年完成樣機開發(fā)。4、滑油金屬屑末為2017年重點研發(fā)產(chǎn)品，預(yù)計2017年年底完成產(chǎn)品開發(fā)。

精密離心機主軸回轉(zhuǎn)誤差直接影響精密離心機動態(tài)半徑的測量、離心加速度輸出精度以及精密離心機主軸運行安全性,必須精準測量主軸回轉(zhuǎn)誤差參數(shù)；介紹一種應(yīng)用3個電容測微儀測試并分離主軸回轉(zhuǎn)誤差與圓度誤差的方法,利用MATLAB對三只電容測微儀安裝角度誤差、主軸全周采樣點數(shù)、測試系統(tǒng)本底噪聲對主軸回轉(zhuǎn)誤差測試結(jié)果影響進行分析,得出采樣點數(shù)N、測微儀安裝角度誤差δα、δβ以及測試系統(tǒng)本底噪聲對回轉(zhuǎn)誤差分離的影響,基于結(jié)果確定了10-6量級精密離心機主軸回轉(zhuǎn)誤差測量的幾個工程參數(shù)。該方法已應(yīng)用于某高精度精密離心機主軸回轉(zhuǎn)誤差精密測試中,實測表明,轉(zhuǎn)速在300 rpm內(nèi)精密離心機純回轉(zhuǎn)誤差測量結(jié)果為0.25 μm,滿足10-6量級高精度精密離心機的研制指標(biāo)需求。

在電容微位移測量中，電容位移傳感器對微位移的測量越精準、響應(yīng)速度越快、非線性越小，整體性能就越好。首先由傳感器感受微位移的變化，并將其轉(zhuǎn)換成電容量的變化，然后經(jīng)過信號轉(zhuǎn)換電路將電容量的變化轉(zhuǎn)換成可測的電壓信號，然后利用A/D轉(zhuǎn)換器實現(xiàn)信號的采集，由單片機進行信號的處理和傳輸。最終實時顯示，并進行線性擬合給出相關(guān)數(shù)據(jù)。

以電容式微位移傳感器為基礎(chǔ)，利用運算放大器測量電路原理，當(dāng)恒定頻率的正弦激勵電流通過傳感器電容時，傳感器上產(chǎn)生的電壓幅值與電容極板間隙成比例關(guān)系。主放大器具有高輸入阻抗，保證足夠大的開環(huán)增益以實現(xiàn)高精度運算，其輸出為一調(diào)幅波，幅值的變化與被測位移變化一一對應(yīng)。通過全波整流電路、增益濾波電路對放大的被測信號進行解調(diào)，最后進入A/D轉(zhuǎn)換進行數(shù)據(jù)處理，在單片機的控制下完成數(shù)據(jù)的顯示等過程，提高了輸出信號的抗干擾性。