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              發(fā)布時(shí)間:2020-08-04 10:52  






                凈化車(chē)間功能溫度測(cè)試,應(yīng)將潔凈工作區(qū)劃分為等面積的柵格,每個(gè)分格面積不超過(guò)100平方米或與建設(shè)方協(xié)商確定,每格測(cè)點(diǎn)1個(gè)以上,每個(gè)房間測(cè)點(diǎn)至少2個(gè)。(1)潔凈隧道(CleanTunnel):以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上,可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。測(cè)試高度應(yīng)為工作面高度,距的吊頂、墻面和地面不小于300MM,并應(yīng)考慮熱源等的影響,測(cè)量時(shí)間應(yīng)至少1H,并至少6min測(cè)量一次,讀數(shù)穩(wěn)定后做好記錄。凈化車(chē)間一般溫度測(cè)試的測(cè)點(diǎn),每個(gè)溫度控制區(qū)或每個(gè)房間1個(gè)測(cè)點(diǎn),測(cè)試點(diǎn)高度宜為工作面高度,測(cè)量時(shí)間應(yīng)至少1H,并至少6min測(cè)量一次,讀數(shù)穩(wěn)定后做好記錄。


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