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              發(fā)布時(shí)間:2021-07-08 08:20  








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              半導(dǎo)體加工我們繼續(xù)革新技術(shù)解決方案,這些解決方案將會(huì)提升制程正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間、產(chǎn)量、吞吐量與安全認(rèn)證水平,同時(shí)通過(guò)減輕不利于環(huán)境的排放、延長(zhǎng)產(chǎn)品使用壽命并降低持續(xù)服務(wù)成本,努力協(xié)調(diào)平衡往往相互沖突的更低擁有成本要求。

              所有居于地位的制程工具 OEM,以及全球每一家主要半導(dǎo)體工廠都采用了我們的系統(tǒng),因?yàn)樗鼈兡軌驖M足成熟制程與發(fā)展中制程的具體要求。提供干式真空泵、渦輪分子泵與使用點(diǎn)減排系統(tǒng)等各種系統(tǒng),用來(lái)優(yōu)化從輕負(fù)荷制程到超重負(fù)荷制程的各項(xiàng)應(yīng)用的性能表現(xiàn)。 平版印刷平版印刷(即晶圓的圖案形成)是半導(dǎo)體 制程中的一個(gè)關(guān)鍵步驟。拆卸軸承應(yīng)使用專用工具,安裝時(shí)不得用錘直接敲擊軸承,需敲擊時(shí)必須墊以軟金屬。雖然傳統(tǒng)甚至浸潤(rùn)式平版印刷 一般不需要真空環(huán)境,但遠(yuǎn)紫外 (EUV) 平版印刷和電子束平版印刷卻需要真空 泵。Edward可以讓您有效應(yīng)對(duì)這兩種應(yīng)用。

              EUV 平版印刷泵送解決方案

              多重圖案形成技術(shù)有其存在的價(jià)值, 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷,因?yàn)檩p型 EUV 系統(tǒng) 提供極短的波長(zhǎng)。要讓您的系統(tǒng)具有 性能,真空環(huán)境是關(guān)鍵。2kW/3hp60Hz3kW/4hp標(biāo)準(zhǔn)油量推薦用油Ultragrade70噪音級(jí)別70dB(A)。真空系統(tǒng)的 清潔性尤其重要,它有助于延長(zhǎng)維修間隔。我們 與 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作開(kāi)發(fā)了 精密真空系統(tǒng),可為您進(jìn)行的大型投資提供 可靠性。

              電子束平版印刷解決方案

              電子束平版印刷在硅晶片的圖案形成中 具有重要作用。低振動(dòng)的清潔真空對(duì)于確保系統(tǒng)的精密性 和長(zhǎng)正常運(yùn)行時(shí)間至關(guān)重要。

              我們的產(chǎn)品解決方案

              您可能需要使用渦輪分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上實(shí)現(xiàn)超高真空。我們的 STP 系列 TMP 采用 完全磁懸浮轉(zhuǎn)子以降低艙室污染風(fēng)險(xiǎn)并延長(zhǎng) 維修間隔。其他進(jìn)口螺桿真空泵維修型號(hào):EH250,EH500,EH1200,EH2600,EH4200提供進(jìn)口羅茨泵維修保養(yǎng),維修品牌包括:萊寶、愛(ài)德華、Aerzen,Kaesser,Dresser,Hibon,Robuschi,RKR等進(jìn)口品牌。目前開(kāi)發(fā)的產(chǎn)品通過(guò)將控制器集成到 泵本身中來(lái)降低總成本和占地面積,不再需要 外部控制器和控制器與泵之間的沉重控制 電纜。


              真空泵泵體振動(dòng)大的原因有哪些?

              水環(huán)變化:若水環(huán)內(nèi)徑變大(供水不足所致),則葉片頂端將與水環(huán)內(nèi)壁發(fā)生碰撞,產(chǎn)生振動(dòng)。若水環(huán)內(nèi)徑變小(供水過(guò)量所致),其對(duì)葉輪的擾流及阻力損失增加,引發(fā)振動(dòng),同時(shí)增加泵的功耗。概述EH機(jī)械增壓泵以簡(jiǎn)單的羅茨泵原理為基礎(chǔ),仍是受歡迎的泵,可用于壓力范圍為0。上海真空泵工作中,一定要保證合適的工作水供水量,若進(jìn)水管發(fā)生結(jié)垢及堵塞現(xiàn)象。只憑進(jìn)水壓力不能準(zhǔn)確衡量進(jìn)水供應(yīng)情況,一般可通過(guò)觀察上海真空泵的排水量來(lái)判斷水環(huán)的工作情況。






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