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發布時間:2020-07-23 23:06  





特種氣體的主要生產工序包括氣體合成、氣體純化、氣體混配、氣瓶處理、氣體充裝、氣體分析檢測等步驟,其中氣體的純化、混配等是氣體公司的核心競爭力。特種氣體是指在特定領域中應用的對純度、品種、性質有特殊要求的氣體,隨著科學研究、自動化技術、精密檢測(特別是微電子技術)的發展,特種氣體成為工業氣體市場規模增長新動力,廣泛應用于半導體、LED、光纖光纜等新興行業。特種氣體是工業氣體中的一個新興門類,是隨著近年來科學研究、自動 化技術、精密檢測,特別是微電子技術的發展而發展起來的。
特種氣體在集成電路領域的應用:特種氣體是半導體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐材料,處于半導體產業鏈的 上游,被稱為半導體的“源”,主要應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。特種氣體分類:標準氣體嚴格意義上應稱為標準校正氣體,是一種高度均勻, 穩定性良好和量值準確的氣體,可分為單元標準氣體和多元標準氣體,目前標準氣基本 滿足了我國石油、化工、環保、傳感器校核等諸多領域的需求,特種氣體在太陽能電池中的應用:非晶硅太陽能 電池在 LPCVD 沉積 TCO 工序用到 DEZn、B2H6;非晶/微晶硅沉積工序用到 SiH4、PH3/H2、 TMB/H2、CH4、NF3 等。

滅菌特種氣體可殺滅細菌(及其內孢子)、霉菌及真菌,因此可用于消毒一些不能耐受高溫消毒的物品。特種氣體的儲存注意事項:儲存高壓氣體≥300m,液化氣≥3000kgs時,儲存場所需要經過縣級以上相關單位批準。高壓容器儲存場所出入口及顯眼處,需設有安全警示牌。特種氣體主要包括高純氣體、電子氣體、標準氣體三大類,電子特種氣體(簡稱電子特氣)是特種氣體的 一個重要分支,是超大規模集成電路(IC)、平面顯示器件(LCD、LED、OLED)、太陽能電池等電子工業生產不 可或缺的原材料。
滅菌特種氣體可殺滅細菌(及其內孢子)、霉菌及真菌,因此可用于消毒一些不能耐受高溫消毒的物品。我國特種氣體行業在 2006 年后進入快速發展階段,廣泛應用于集成電路、顯示面 板、光伏能源、光纖光纜、新能源汽車、航空航天、環保和新興產業領域,特種氣體分類:高純氣體通常指利用現代提純技術能達到的某個等級純 度的氣體,對于不同類別的氣體,純度指標不同,大多用于超大規模集成電路及分離器 件、光電子等高科技領域;
