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鍍膜設備原理及工藝

前處理（清洗工序）

要獲得結合牢固、致密、無針1孔缺陷的膜層, 必須使膜層沉積在清潔、具有一定溫度甚至是的基片上。為此前處理的過程包括機械清洗(打磨、毛刷水洗、去離子水沖洗、冷熱風刀吹凈)、烘烤、輝光等離子體轟擊等。機械清洗的目的是去除基片表面的灰塵和可能殘留的油漬等異物, 并且不含活性離子, 必要時還可采用超聲清洗。烘烤的目的是徹底清除基片表面殘余的水份, 并使基片加熱到一定的溫度, 很多材質在較高的基片溫度下可以增強結合力和膜層的致密性。基片的烘烤可以在真空室外進行, 也可以在真空室內繼續進行, 以獲得更好的效果。（c）離子輔助沉積：先沉積一層很薄的金屬或非金屬層，然后再引入反應氣體離子源，將膜層進行氧化或者氮化等。但在真空室內作為提供熱源的電源應有較低的電壓, 否則易于引起放電。輝光等離子體轟擊清洗可以進一步除去基片表面殘留的不利于膜層沉積的成份, 同時可以提高基片表面原子的活性。

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我國真空鍍膜機行業發展現狀和前景分析

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真空鍍膜技術是一種新穎的材料合成與加工的新技術，是表面工程技術領域的重要組成部分。隨著全球制造業高速發展，真空鍍膜技術應用越來越廣泛。鍍膜設備原理及工藝前處理（清洗工序）要獲得結合牢固、致密、無針1孔缺陷的膜層,必須使膜層沉積在清潔、具有一定溫度甚至是的基片上。從半導體集成電路、LED、顯示器、觸摸屏、太陽能光伏、化工、制藥等行業的發展來看，對真空鍍膜設備、技術、材料需求都在不斷增加，包括制造大規模集成電路的電學膜;數字式縱向與橫向均可磁化的數據紀錄儲存膜;充分展示和應用各種光學特性的光學膜;計算機顯示用的感光膜;TFT、PDP平面顯示器上的導電膜和增透膜;建筑、汽車行業上應用的玻璃鍍膜和裝飾膜;包裝領域用防護膜、阻隔膜;裝飾材料上具有各種功能裝飾效果的功能膜;工、模具表面上應用的耐磨超硬膜;納米材料研究方面的各種功能性薄膜等。

當前我國真空鍍膜設備行業等傳統制造業產能過剩已經顯現，倒逼效應顯著，國家大力發展環保產業，對傳統電鍍行業予以取締或轉型或限產，這正是離子鍍膜行業發展的大好時機。真空鍍膜的高性價比以及傳統電鍍對環境的污染迫使真空鍍膜成為了主流，各種類型各種鍍膜工藝的真空鍍膜設備不斷增加。塑料薄膜薄厚勻稱性是檢測無心插柳堆積全過程的最關鍵主要參數之首，因而對膜厚勻稱性綜合性布置的科學研究具備關鍵的基礎理論和運用使用價值。

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