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發布時間:2020-07-17 06:10  






磁控濺射法定義是什么?
磁控濺射法是在高真空充入適量的Ar,在陰極(柱狀靶或平面靶)和陽極(鍍膜室壁) 之間施加幾百K 直流電壓,在鍍膜室內產生磁控型異常輝光放電,使Ar發生電離。Ar離子被陰極加速并轟擊陰極靶表面,將靶材表面原子濺射出來沉積在基底表面上形成薄膜。
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真空鍍膜機的未來發展策略
創世威納專業生產、銷售真空鍍膜機,我們為您分析該產品的以下信息。
1、目前實體經濟走勢整體疲弱,復蘇充滿不確定性,經濟處于繼續探底過程,真空鍍膜設備制造企業應著力進行產業結構優化升級,重質量、重服務明確市場定位,大力研發擁有自主知識產權的新產品新工藝,提高產品質量和服務水平。
2、依托信息化發展趨勢,堅持“以信息化帶動工業化,以工業化促進信息化”,走出一條科技含量高、經濟效益好、資源消耗低、環境污染少、人力資源優勢得到充分發揮的新型工業化路子。
3、依托政府支持,大力加強與擁有行業先進技術和工藝水平的科研院所、大型企業、高校合作,使得新品能迅速推向市場。
真空鍍膜技術及設備擁有十分廣闊的應用領域和發展前景。未來真空鍍膜設備行業等制造業將以信息化融合為重1心,依靠技術進步,更加注重技術能力積累,制造偏向服務型,向世界真空鍍膜設備行業等制造業價值鏈高1端挺進。
直流濺射法
直流濺射法要求靶材能夠將從離子轟擊過程中得到的正電荷傳遞給與其緊密接觸的陰極,從而該方法只能濺射導體材料,不適于絕緣材料。因為轟擊絕緣靶材時,表面的離子電荷無法中和,這將導致靶面電位升高,外加電壓幾乎都加在靶上,兩極間的離子加速與電離的機會將變小,甚至不能電離,導致不能連續放電甚至放電停止,濺射停止。濺射時,氣體被電離之后,氣體離子在電場作用下飛向接陰極的靶材,電子則飛向接地的壁腔和基片。故對于絕緣靶材或導電性很差的非金屬靶材,須用射頻濺射法(RF)。