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發布時間:2021-09-08 20:09  





半導體真空腔體的應用
中國半導體真空腔體市場近幾年快速發展,越來越多的公司也表達了進入芯片領域的興趣.以存儲芯片為例,以前中國國內存儲芯片完全靠進口,今年福建晉華集成電路的內存生產線有望投產,另外長江存儲科技公司也在建設內存和閃存芯片生產線.格力、康佳等傳統家電企業也表示,將進入芯片領域.
據國際半導體設備與材料協會報告顯示,中國目前正在天津、西安、北京、上海等16個地區打造25個FAB建設項目,福建晉華集成電路、長江存儲科技公司等企業技術水平雖不及韓國,但均已投入芯片量產.報告預測,今年中國半導體設備市場規模有望達118億美元,實現同比43.9%的增長,并且明年市場規模有望擴大至173億美元,增長46.6%,成為大市場.而同一時期內韓國的半導體設備市場規模從179.6億美元減少至163億美元,減幅為9.2%.中國超越韓國成為全球很大半導體設備市場.
真空腔體加工的注意事項
焊接是真空腔體制作中的環節之一。通常采用弧焊來完成焊接,可避免大氣中熔化的金屬和氧氣發生化學反應而影響焊接質量,弧焊是指在焊接過程中向鎢電極周圍噴射保護氣體氣,以防止熔化后的高溫金屬發生氧化反應。
超高真空腔體的弧焊接,原則上必須采用內焊,即焊接面是在真空一側,以免存在死角而發生虛漏。真空腔體不允許內外雙重焊接和雙重密封
個大氣壓在1cm2的面積上產生約1kgf的壓力,對直徑20cm的法蘭來講,就是1t的壓力。圓筒或球形的腔體,由于構造的特殊性使得壓力分散,腔體的壁厚2~4mm就不會變形。
但是,對于方形腔體,側面的平板上要承受上噸的壓力,必須通過增加壁厚或設置加強筋,才能防止變形。
真空腔體除塵過濾方式及過濾裝置大家了解多少呢?
有些真空工藝會產生大量的塵土,如果塵土隨被抽氣體進入油封真空泵內混在泵油中,會像研磨劑一樣加速泵腔內零件的磨損,對泵轉子和泵腔造成磨損和損壞,堵塞油路或使泵無法運轉,如果塵土進入真空閥門則會使密封失效而泄漏,因此塵土的規避和過濾己成為增加真空腔體的使用壽命,增加生產率的關鍵問題,在有塵土的真空系統中,要采用塵土過濾器。真空腔體加工的注意事項真空腔體是保持內部為真空狀態的容器,真空腔體加工要考慮容積、材質和形狀。
在塵土量較少時,可以由泵油過濾系統濾除,但塵土量較大時,為不讓真空泵損壞,讓真空泵的正常運轉要使用除塵器。真空腔體加工廠家解釋說常用塵土過濾方法有以下幾種:
(1)旋風離心式。進氣口與筒體成偏疼放置,塵土隨氣流旋轉,因離心力效果而沉降在過濾器的底部。
(2)油淋式。在油泵的效果下,使真空泵油從除塵器的頂部高速噴下,油霧與上升的氣流相互效果吸附,混在氣流中的塵土與油一同沉降至油池。
(3)油濕介質粘附式。塵土在氣流效果下磕碰用真空泵油浸濕的介質外表而被粘附,常用介質有環狀或顆粒狀陶瓷、金屬絲條等。
(4)介質阻撓式。使用介質的機械阻撓效果過濾塵土,常用介質有金屬絲網、天然或合成纖維、多孔金屬、多孔塑料等。
(5)靜電吸附式。使用真空中氣輝光放電構成等離子體,塵土在等離子體中附著電荷,在電場力效果下被驅向電極外表而集。
(6)混合式。將以上幾種過濾形式進行組合構成混合的過濾形式。