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發(fā)布時間:2021-08-30 05:15  





質量流量控制器簡介
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使用范圍: 質量流量控制器廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等 行業(yè)的氣流測量與控制。
特點:流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應速度快、過沖小。
MFC質量流量控制簡介
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MFC為Mass Flow Controller的縮寫,即質量流量控制。流體在旋轉的管內流動時會對管壁產生一個力,它是科里奧利在1832年研究水輪機時發(fā)現(xiàn)的,簡稱科氏力。質量流量計以科氏力為基礎,在傳感器內部有兩根平行的T型振管,中部裝有驅動線圈,兩端裝有拾振線圈,變送器提供的激勵電壓加到驅動線圈上時,振動管作往復周期振動,工業(yè)過程的流體介質流經傳感器的振動管,就會在振管上產生科氏力效應,使兩根振管扭轉振動,安裝在振管兩端的拾振線圈將產生相位不同的兩組信號,這兩個信號差與流經傳感器的流體質量流量成比例關系。計算機解算出流經振管的質量流量。不同的介質流經傳感器時,振管的主振頻率不同,據(jù)此解算出介質密度。安裝在傳感器器振管上的鉑電阻可間接測量介質的溫度。
氣體質量流量控制器的原理
體通過的測量段內有兩個熱阻元件,其中一個檢測溫度,另一個作為加熱器。這兩個元件和流量計內的電路組成一個溫控系統(tǒng),該溫控系統(tǒng)保持溫度檢測元件和加熱器之間的溫度值恒定。當氣體流速增加,冷卻效應越大,使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質量流量,即供給電流與氣體質量流量有一對應的函數(shù)關系,來反映氣體的流量。
氣體質量流量控制器的顯示方式
觸摸屏顯示操作。這是一種智能化、自動化的操作方式,適合多氣路以及產品的集成,一鍵啟動,人機界面,具有靈敏的反應速度、易于交流、堅固耐用、節(jié)省空間等優(yōu)點,是目前比較便捷、簡單、自然的一種人機交互方式,用戶只需用手指輕輕一點顯示屏上的圖標或文字就能操作,給人們的生活帶來了很大的方便。
該產品呈現(xiàn)出多元化的趨勢,針對不同的用戶、不同的使用環(huán)境而出現(xiàn)了分體式、組合式、臺式、便攜式等多種類型。體積小巧、功能強大、功耗低,可內置鋰電池或外置鋰電池,保證長時間的運行。
