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真空法氦質譜檢漏

采用真空法檢漏時，需要利用輔助真空泵或檢漏儀對被檢產品內部密封室抽真空，采用氦罩或噴吹的方法在被檢產品外表面施氦氣，當被檢產品表面有漏孔時，氦氣就會通過漏孔進入被檢產品內部，再進入氦質譜檢漏儀，從而實現被檢產品泄漏量測量。按照施漏氣體方法的不同，又可以將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。其中真空噴吹法采用噴槍的方式向被檢產品外表面噴吹氦氣，可以實現漏孔的; 真空氦罩法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產品全部罩起來，在罩內充滿一定濃度的氦氣，可以實現被檢產品總漏率的測量。真空壓力法的缺點是檢漏系統復雜，需要根據被檢產品的容積和形狀設計真空密封室。

真空法的優點是檢測靈敏度高，可以，能實現大容器或復雜結構產品的檢漏。

真空法的缺點是只能實現一個大氣壓差的漏率檢測，不能準確反映帶壓被檢產品的真實泄漏狀態。

真空法的檢測標準主要有QJ3123-2000《氦質譜真空檢漏方法》、GB /T 15823-2009《氦泄漏檢驗》，主要應用于真空密封性能要求，但不帶壓工作的產品，如空間活動部件、液氫槽車、環境模擬設備等。

壓力容器氦檢漏技術

什么是氦質譜儀？

專門設計的把氦示蹤氣體進行檢漏的質譜儀稱為氦質譜檢漏儀。檢漏儀給出的漏率值為測量漏率，需要通過換算公式計算出被檢產品的等效標準漏率。氦質譜檢漏儀的原理是，當一個帶電質點（正離子）以一定速度V進入均勻磁場的分析器中后，如果速度V的方向和磁場H的方向相垂直，它的運動軌跡為圓，不同質合比（m/e）的粒子在磁場中有相應的運動軌跡，這樣，不同荷質比的帶電粒子在磁場運動后會分開，如果在粒子運動路徑中安裝一塊擋板將其他粒子擋掉，而在氦粒子的運動路徑開一個狹縫而被接收極接收形成氦離子流，并經過放大器放大而被測量儀指示出來。檢漏時，氦氣進入檢漏儀氦質譜室中，使儀器發生靈敏的反應，產生檢漏的作用。

由于空氣中氦氣，氦質譜儀的本底電流及噪音也很少，因此可將示漏氦氣的信號盡量放大而不怕空氣的影響，這樣可以測出極為弱小的訊號，從而檢出的漏孔；由于氦氣是惰性氣體，具有分子小，質量輕，擴散快，穿透性強，響應快且穩定，加之不起化學作用，不污染工件，操作安全等特點，導致使用氦質譜檢漏儀技術（簡稱氦檢漏技術）日益受到重視。氦氣是無毒無色無味的惰性氣體，這就意味著，正常情況下其可以作為介質在所有的物體中存在，且不發生反應。

氦檢漏服務

為了正確使用氦氣檢漏設備，在充入檢漏氣體前有必要對抽空樣品進行預抽空。因此，在測漏過程中采用較高的測試壓力，可有效檢測出在實際運行中未出現的漏孔。如果在填充前沒有排空，試件中的空氣將被擠壓到幾何空間的末端，氦氣檢漏設備中的氣體不能進入該部分，因此潛在的檢漏孔將僅釋放空氣，檢漏設備不能檢測到這些檢漏孔。氦氣檢漏設備的泄漏孔通常很小或很窄。如果泄漏孔在檢漏氣體試驗前放在水箱中，這些泄漏孔或毛細管會被水堵塞或充滿，從而大大影響檢漏結果。