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發布時間:2020-08-18 16:43  





特種氣體系統的設計與施工
供氣系統的選擇
常規供氣系統
常規供氣系統主要應用于4-6英寸 大規模集成電路廠,50MW以下的太陽能電池生產線,發光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等規模的電子行業。對氣體純度控制的要求不苛刻,系統配備在滿足安全的前提下盡量簡單,節省投資。
特種氣體采用普通鋼瓶(<50L)供氣。特氣輸送系統采用氣瓶柜。配置全自動PLC控制器,彩色觸摸屏;氣體面板采用氣動閥門和壓力傳感器,可實現自動切換,自動氮氣吹掃,自動真空輔助放空;多重安全防護措施,泄漏偵測,遠程緊急切斷;特種氣體系統:氣體房的選擇和設計除了簡單的供氣系統以外,特氣房一般都獨立于主場房而單獨建設,其規劃時需考慮建筑物的防火、泄爆、防火防爆間距、危險物的總量控制等。專用氮氣吹掃起源等等。
特種氣體:高純氯1氣
高純氯1氣制取方法
高純氯的生產方法仍以工業氯為原料,吸附凈化。工業液1氯中的雜質含量較多,欲制得高純氯必須把原料氯中的H2O、O2、N2、CO2、CO、H2、CH4等除去,除H2O外其余雜質的沸點均低于氯,故用物理吸附法除去H2O和CO2;其現場基本的施工程序為:施工圖紙會審﹣→施工組織編寫﹣→預制間的搭設﹣→施工機具的準備﹣→施工人員的培訓﹣→預制圖紙的編寫﹣→管道的預制﹣→管道的現場安裝﹣→系統檢測﹣→系統驗收。冷凝分離法除去O2、N2、H2、CO、CH4等。但氯不僅劇1毒,且具有強氧化、強腐蝕的異常活潑的化學性質,除少數稀有氣體外,幾乎能與所有元素形成化合物。因此要篩選不受氯腐蝕、不與氯起化學反應的干燥劑、吸附劑,以及這些吸附劑的化學處理、再生等。

特種氣體有哪些?
特種氣體主要包括電子氣體、醫1療氣體、標準氣體、激光氣體、食品氣體、電光源氣體等,其中,電子氣體廣泛用于集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜等電子產業的加工制造過程,主要包括清洗、蝕刻、光刻、外延、摻雜等,是下游1行業關鍵性化工基礎材料,被譽為電子產業的“糧食”和“源”,現有單元特種氣體260余種,可配制成25000多種混合氣體。輔助系統的設計氣體柜或控制面板在安裝和運輸的過程中由于搬運和震動,閥門、接頭、過濾器等的更換、或其他原因、需要對其重新進行高壓氣密性試驗和氦檢,氣體的置換也需要用到高壓氮氣或氦氣,所以特氣柜需設計接入高壓惰性氣體氦氣或氮氣。