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              沖壓件步進式噴淋清洗機定做擇優推薦 濟南巴克優選廠家

              發布時間:2020-12-17 09:03  

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              旋轉噴淋清洗機簡介

              旋轉噴淋清洗機

              巴克專業定制旋轉噴淋清洗機,自帶旋轉籃筐,籃筐承重力大,可同時對不同工件進行噴淋清洗、噴淋漂洗等;旋轉噴淋清洗機的優勢在于旋轉籃筐可自由轉動,從而噴淋嘴可360度對工件進行噴淋清洗,槽體內部設計合理,清洗下來的污物,可隨清洗溶液一起排出槽體內部,保證槽體內部的潔凈度。


              此方法適用于除去氧化膜或有機物。因為化學物質在硅片表面停留的時間比較短,對反應需要一定時間的清洗效果不好。在噴洗過程中所使用的化學試劑很少,對控制成本及環境保護有利。

              隨著集成電路制程工藝節點越來越先進,對實際制造的幾個環節也提出了新要求,清洗環節的重要性日益凸顯。

              清洗的關鍵性則是由于隨著特征尺寸的不斷縮小,半導體對雜質含量越來越敏感,而半導體制造中不可避免會引入一些顆粒、有機物、金屬和氧化物等污染物。為了減少雜質對芯片良率的影響,實際生產中不僅僅需要提高單次的清洗效率,還需要在幾乎所有制程前后都頻繁的進行清洗,清洗步驟約占整體步驟的33%。







              問1

                我們現在使用的清洗機IFU測試要求我們測試清洗機的每一層,而我們之前的測試只測試其中一層。按位置而言,中間層具有挑戰,所以如果中間層測試合格在我看來就代表所有層都合格。我想聽聽您的意見,清洗機做清洗測試,是否需要做清洗架的檢測,是否需要檢測每一層的性能?還是只需要檢測其中一層?

                答:要準確得評估一臺清洗機的性能,一定要測試清洗機的每一層。清洗架是非常重要的設備,具有必須執行的可移動部件和結構。除頂層和底層外,清洗架每層都有噴淋臂。連接到艙體底部和頂部的噴淋臂為頂部和底部擱架提供水和機械清潔動作,其它架層的噴淋臂具有相同的功能。清洗架上還有與供水管線對齊的連接口。







              清洗機工作原理:

              清洗機是通過PLC集成系統來控制高壓水360度多角度對玻璃器皿進行沖洗,并自動化控制水溫加熱、沖洗時間、沖洗次數等,并配以專用的酸、堿清洗劑等對各種實驗室玻璃器皿、手術器械等等進行內外表面的污漬以及各種化學殘留進行清洗、消毒和干燥處理。

              噴淋清洗在一個密封的工作腔內一次完成化學清洗、去離子水沖洗、旋轉甩干等過程,減少了在每一步清洗過程中由于人為操作因素造成的影響。在噴淋清洗中由于旋轉和噴淋的效果,使得硅片表面的溶液更加均勻,同時,接觸到硅片表面的溶液永遠是新鮮的,這樣就可以做到通過工藝時間設置,控制硅片的清洗腐蝕效果,實現很好的一致性。