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發布時間:2021-09-03 14:54  
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電子潔凈室污染因素:
一、電磁噪聲
通過大電流的氧化爐等設備的電纜和反復控制通斷的電磁開關,高頻振蕩等產生的電磁噪聲,影響電子束掃描設備的掃描精度。其影響程度與發生源的距離成反比。
二、振動
設備內的真空泵電機工作時會把振動經地板傳遞到微細加工設備和顯微鏡等精密設備儀器上,影響它們的工作精度。
應在振源和怕受振動的設備下安裝空氣的彈簧減震器,以達到衰減振動的目的。
三、生銹
酸用通風罩局部排風量不足時,酸霧氣擴散于室內,腐蝕室內設備的金屬部分,就是不銹鋼露在含CI氣的空氣中,也會受腐蝕生銹。
處理酸的有效的方法是采用密閉通風罩,保證足夠的局部排風量。
潔凈室的這些污染源,你可能都忽略了!
對潔凈室局部改造的施工中,通常人在地板下鋪設管道或者坐在地板上進行作業。這種施工有時切割管道,于是聚氯i乙烯管和不銹鋼等切屑粉末飛揚出來。
所以大修時盡管周圍掛上檔布以養護,但由于施工人員進進出出,受污染的不僅僅是局部范圍,而且全室都受嚴重污染。
在潔凈室內,只用有人在操作,有設備在運行,就會發塵。這些塵埃并非隨著循環氣流為高i效過濾器所捕集,一部分塵埃總要積落在地板、墻壁、設備表面上。應清除這些積塵,以保持潔凈室的清潔。
總體來說,潔凈區在線監測系統是十分必要的,可以24小時監測潔凈區,從而可以及時發現問題,并解決。
潔凈車間必須在生產車間中間施壓差,生產車間務必超過5Pa,殘壓力閥凈化車間能夠積極調整房間內負壓,將其操縱在一定范疇內,當房間內為正壓力情況時,剩下的氣體將被排出來,維持內外平穩的正負極壓力差,當房間內負壓力情況被積極關掉時,將避免 不干凈的的外界空氣回生產車間,殘壓力閥對負壓的忽然轉變具備較強的適用范圍。