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發布時間：2021-03-31 05:16
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氦質譜檢漏儀的可檢漏率
當儀器處于較佳工作條件下，以一個大氣壓的純氦氣作示漏氣體進行動態檢漏時所能檢出的小的漏孔漏率，稱為儀器小的可檢漏率，用Qmin表示。
（1）所謂較佳工作條件，是指被檢件出氣和漏氣都小，它與檢漏儀連接后不會影響檢漏儀質譜室的正常工作，因此不需加輔助泵。同時，檢漏儀的參量也調整在較佳工作狀態，這時檢漏儀能發揮其較佳的性能。
（2）所謂動態檢漏，是指檢漏時，檢漏儀的真空系統仍在對質譜室進行抽氣，且儀器的反應時間不大于3s的情況。
（3）所謂小可檢，是指檢漏儀輸出儀表上可以觀察出來的微小的指示變化，即小的可檢信號。這個小的可檢信號主要受無規律起伏變化的儀器的本底噪聲和漂移所限制。（1）高壓開關在連箱是鋁鑄件，往往容易有砂眼，且漏孔結構復雜，不易清洗。本底噪聲是由于儀器各參數的不穩定引起的，例臺電源電壓變化、真空度變化、發射電流變化、加速電壓變化、放大倍數變化、外界電磁場干擾等都會引起輸出儀表的不穩定擺動。漂移被認為是由于電子學上的原因引起的。如果漏入的氦氣產生的輸出指示的變化小于噪聲和漂移之和，就很難判斷究竟是漏氣信號還是噪聲和漂移指示，因而噪聲和漂移值也就成為能否判斷出漏氣信號的關鍵值。
氦質譜檢漏儀的選擇
選擇氦質譜檢漏儀時主要考慮以下問題：
（1）儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒有逆流檢漏功能，就不適合吸槍法檢漏；有些儀器沒有報廢漏率的設置功能，不宜作為批量產品篩選檢漏用；流水線上要求一定的檢漏速度，此時應選擇有多工位的檢漏儀。
（2）儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。國內外生產的不同類型的氦質譜檢漏儀的靈敏度是不一樣的，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認真選擇。
（3）被檢件如果害怕油的污染，就應選擇無油真空系統的檢漏儀。
（4）被檢件容積如果較大，必須選用預抽泵抽速大的檢漏儀，否則就要外加預抽泵。
（5）如果被檢對象不固定，體積時大時小，靈敏度要求時高時低，就要選擇功能較全、靈敏度較高、檢漏范圍寬的檢漏儀。
（6）如果檢漏地點不固定，需要經常搬運儀器時，就要選擇小型便攜式儀器。
（7）在滿足上述檢漏基本要求的基礎上，還要綜合考慮儀器的價格是否低、操作是否簡易、維修是否方便等方面的問題。
氦質譜檢漏儀——應用介紹
（1）電子行業微波發射管、電子管、晶體管、集成電路、密封繼電器、各類傳感器、心臟起博器。
（2）真空行業，儀器、儀表行業
管道、接頭、閥門、波紋管、各種真空泵、各類排氣機組、電鏡、質譜儀、電子束離子速暴光機、激光軸分離器鍍膜機、薄膜真空計。
（5）核工業
鈾分離裝置、存儲裝置、核發電裝置。
（6）制冷行業冰箱、空調、制冷機組、汽車用空調、蒸發器、冷凝器、壓縮機、低溫儲槽。
（7）不銹鋼保溫器皿
真空保溫杯、瓶、鍋、飯盒等。
（8）軍類行業
核工業、航空工業、航天工業、船舶工業、軍事電子六大類。
