武漢真空電鍍機價格「至成真空科技」

真空鍍膜設備背壓檢漏法

背壓檢漏法是一種充壓檢漏與真空檢漏相結合的方法，真空鍍膜設備中多用于封離后的電子器件、半導體器件等密封件的無損檢漏技術中。

其檢漏過程基本上可分為充壓、凈化和檢漏三個步驟。

(1)充壓過程是將被檢件在充有高壓示漏氣體的容器內存放一定時間，如被檢件有漏孔，示漏氣體就可以通過漏孔進入被檢件的內部，并且將隨浸泡時間的增加和充氣壓力的升高，被檢件內部示漏氣體的分壓力也必然會逐漸升高。

(2)凈化過程是采用干燥氮氣流或干燥空氣流在充壓容器外部或在其內部噴吹被檢件。

如不具備氣源時也可使被檢件靜置，以便去除吸附在被檢件外表面上的示漏氣體。

在凈化過程中，因為有一部分氣體必然會從被檢件內部經漏孔流失，從而導致被檢件內部示漏氣體的分壓力逐漸下降，而且凈化時間越長，示漏氣體的分壓降就越大。

(3)檢漏過程則是將凈化后的被檢件放入真空室內，將檢漏儀與真空室相連接后進行檢漏。

抽真空后由于壓差作用，示漏氣體即可通過漏孔從被檢件內部流出，然后再經過真空室進入檢漏儀，按檢漏儀的輸出指示判定漏孔的存在及其漏率的大小。

真空鍍膜機鍍制薄膜不均勻的解決方法

隨著鍍膜技術的快速增長，各種類型的真空鍍膜機也開始逐漸出現。但是論起薄膜的均勻性，恐怕所有的真空設備鍍制的薄膜的均勻性都會受到某種因素影響。

對此，真空鍍膜機廠家指出，它的運作原理其實很簡單。就是通過真空狀態下正交磁場使電子轟擊Ar氣形成的Ar離子再轟擊靶材，靶材離子沉積于工件表面成膜。如此車燈鍍膜機廠家就該考慮與膜層厚度的均勻性有關的有真空狀態、磁場、Ar氣這三個方面。

真空狀態就需要抽氣系統來控制的，每個抽氣口都要同時開動并力度一致，這樣就可以控制好抽氣的均勻性，如果抽氣不均勻，在真空室內的壓強就不能均勻了，壓強對離子的運動是存在一定的影響的。另外抽氣的時間也要控制，太短會造成真空度不夠，但太長又浪費資源，不過有真空計的存在，要控制好還是不成問題的。

真空鍍膜機原理和各部件分析

機械泵：也叫前級泵，機械泵是應用廣泛的一種低真空泵，它是用油來保持密封效果并依靠機械的方法不斷的改變泵內吸氣空腔的體積，使被抽容器內氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。

1、機械泵的分類：機械泵有很多種，常用的有滑閥式(此主要應用于大型設備)、活塞往復式、定片式和旋片式(此目前應用廣泛，本文主要介紹)四種類型。

2、機械泵是從大氣開始工作的，它的主要參數有極限真空，抽氣速率，此為設計與選用機械泵的重要依據。單級泵可以將容器從大氣抽到1、0*10-1PA的極限真空，雙級機械泵可以將容器從大氣抽到6、7*10-2帕，甚至更高

3、機械泵常常被用來抽除干燥的空氣，但不能抽除含氧量過高和腐蝕性的氣體，機械泵一般被用來抽除氣體，但是對水氣沒有好的效果，所以它不能抽除水氣。旋片泵中起主要作用的部件是彈片、定子、轉子等，轉子在定子里面但與定子不同心軸，象兩個內切圓，轉子槽內裝有兩片彈片，兩彈片中間裝有彈簧，保證了彈片緊緊貼在定子的內壁。

磁控濺射鍍膜生產線系統設計系統設計的特點

1、生產線采用PLC全過程控制，并配有彩色顯示屏，顯示鍍膜工藝過程參數等；

2、實時動畫形式顯示監控磁控鍍膜生產線的工藝流程。磁控鍍膜生產線的設備是密封的，生產時看不見玻璃在真空室里面的運行情況，通過通用組態式監控系統形象的動畫功能來實時反應玻璃在密封真空室里的運行情況，讓現場操作工對整個生產流程了若指掌。

3、系統功能豐富：包括手/自動模式選擇、工藝方案選擇、數據檢測記錄、故障報警記錄、自動診斷保護、操作權限限定等等。系統組成結構圖上位監控系統采用的是通用組態式監控系統，其與下位控制系統的三菱FX2NPLC通信方式采用RS-232串行通訊方式。LG變頻器及真空泵、抽氣閥等都是由三菱FX2N-PLC來控制，而PLC通過一個擴展的232BD模塊與計算機相連。軟件系統完成的主要功能

1、以實時動畫形式監控磁控鍍膜生產線的工藝流程，監控電機、真空泵、抽氣閥等部件的運行狀態；

2、記錄設備運行過程中產生的實時報警信息；

3、PLC輸入、輸出點實時監控。總結該系統現場運行情況良好，數據讀寫速率快，報警功能、設備動作控制等各項功能均達到設計要求，且快速、準確無誤，主畫面上的動畫過程與現場的生產流程配合較好，使用該系統可以非常方便的監控整條生產線的運行。“操作簡單，畫面精美，軟件與設備的通訊性能優越，大大提升系統形象”通用組態式監控系統軟件突出性能給予的評價。