磁控濺射鍍膜設(shè)備按需定制【至成真空科技】

真空鍍膜機(jī)的真空室該如何設(shè)計(jì)呢?

真空鍍膜機(jī)相比大家都存有疑惑，今天來討論一下的是關(guān)于真空鍍膜設(shè)備真空室的設(shè)計(jì)問題，要是您有興趣了解的話可以和寶瑞鈦金一起來看看下面的內(nèi)容。

真空鍍膜技術(shù)是在真空條件下采用物理或者化學(xué)方法，使物體表面獲取所需膜體，真空鍍膜技術(shù)根據(jù)其采用方法的不同科分成蒸發(fā)鍍、濺射鍍、離子鍍、束流沉積以及分子束外延等，這次分析的鍍膜設(shè)備采用的是磁控濺射鍍膜。

真空室是真空設(shè)備的一個(gè)主要組成部位，真空鍍膜設(shè)備真空室設(shè)計(jì)主要考慮的就是密封性和可靠性，結(jié)構(gòu)必須要合理，真空設(shè)備的材料生產(chǎn)都是在真空室內(nèi)進(jìn)行的，材料對(duì)真空度的影響要小，設(shè)計(jì)不能馬虎，要注意一些問題。

真空鍍膜封件的安裝方法：

安裝方法隨機(jī)械密封型式、機(jī)器的種類不同而有所不同，但其安裝要領(lǐng)幾乎都相同，安裝步驟和注意事項(xiàng)如下：（1）安裝尺寸的確定：安裝時(shí)，應(yīng)按產(chǎn)品的使用說明書或樣本，保證機(jī)械密封的安裝尺寸。

（2）裝入前，軸（軸套）、壓蓋應(yīng)刺，軸承狀況良好；密封件、軸、密封腔、壓蓋都應(yīng)該清洗干凈。為減少摩擦阻力，軸上安裝機(jī)械密封的部位要薄薄地涂上一層油，以進(jìn)行潤(rùn)滑，考慮到橡膠O形圈的相溶性，若不宜用油，可涂肥皂水。浮裝式靜環(huán)不帶防轉(zhuǎn)銷的結(jié)構(gòu)，不宜涂油，應(yīng)干式裝入壓蓋。

（3）先將靜環(huán)與壓蓋一起裝在軸上，注意不要與軸相碰，然后將動(dòng)環(huán)組件裝入。彈簧座或傳動(dòng)座的緊定螺釘應(yīng)分幾次均勻擰緊。

在未固定壓蓋之前，用手推補(bǔ)償環(huán)作軸向壓縮，松開后補(bǔ)償環(huán)能自動(dòng)彈回?zé)o卡滯現(xiàn)象，然后將壓蓋螺拴均勻地鎖緊。

鍍膜行業(yè)發(fā)展的趨勢(shì)

當(dāng)今鍍膜行業(yè)制作方式主要有兩種，一種是化學(xué)氣象沉積，一種是化學(xué)鍍膜（CVD），一種是物理氣象沉積，也就是真空鍍膜（PVD）。

化學(xué)鍍膜是把含有構(gòu)成薄膜元素的氣態(tài)反應(yīng)劑或液態(tài)反應(yīng)所需其他氣體引入反應(yīng)室，在襯底表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成薄膜的過程。在化學(xué)薄膜的過程中，容易產(chǎn)生溶液污染，如果鍍層表面雜質(zhì)多，鍍出來的效果不好。

化學(xué)鍍膜需要的反應(yīng)溫度很高，一般要控制在1000℃左右，但很多基體材料是無法受此高溫，及時(shí)硬質(zhì)合金，雖然能經(jīng)受高溫，但在化學(xué)鍍膜制作的環(huán)境下由于高溫也會(huì)造成晶粒粗大，引起脆性相，性能變壞。如果在硬質(zhì)合金上鍍TiN，晶體擴(kuò)散出來的碳會(huì)與溶液發(fā)生反應(yīng)形成脫碳層，該層韌性差，抗彎強(qiáng)度低，造成刀具使用壽命縮短。

真空鍍膜機(jī)很好的解決了化學(xué)鍍膜產(chǎn)生的一系列問題。真空鍍膜是在真空條件下，采用低電壓、大電流的電弧放電技術(shù)，利用氣體放電技術(shù)，利用其他放電是靶材蒸發(fā)并使被蒸發(fā)物質(zhì)與氣體都發(fā)生電離，利用電場(chǎng)的加速作用，使被蒸發(fā)物質(zhì)及反應(yīng)產(chǎn)物沉積在工件上。

所有鍍層材料都是在真空環(huán)境下通過等離子體沉積在工件表面，解決了化學(xué)鍍膜中的溶液污染問題，不會(huì)產(chǎn)生有毒或污染物質(zhì)，鍍出來的膜層硬度更高，耐磨性和腐蝕性好，性能更穩(wěn)定。真空鍍膜工藝處理的溫度可以控制在150℃~500℃以下，適用于多種基體材料，可制備多姿多彩的膜層，鍍制硬質(zhì)合金刀具可使其壽命提高2~10倍。