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發布時間:2020-12-30 07:59  
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國內半導體制造和光伏電池上游加工,包括:去頭尾、截斷、開方等的加工,大部分仍然采用金剛石帶鋸設備。加工表面粗糙,浪費材料,金剛石帶鋸價格也不菲。
實際上,應該使用金剛石線鋸機切割加工,能得到更高的質量。
元素環形金剛石線切割機的主要性能:
1. 切割晶體尺寸: 300*300 mm
2. 切割線線速度: 小于60 m/s
3. 工作臺進給速度: 500 mm/s
4. 晶片表面粗糙度: Ra≤ 0.2μm

環形線鋸
目前,大型往復式金剛石線鋸機占金剛石線鋸主導地位。但往復式由于受到正反轉慣性作用,線速比較低,僅是3-10m/S,效率很低,且因為往復切割,導致工件表面質量不一致
環形線鋸則克服了往復線鋸的缺點,線速可高達60m/s,可實現生產,因此在硅晶體、工業陶瓷加工等工業領域得到推廣應用,并顯示出其獨特的及優越性。隨著半導體、光伏材料產業的發展,在硅、陶瓷、玉石、石墨模具、名貴石材等行業有著廣闊的應用前景。

線切割設備
切割液
金剛線切割設備使用的切割液主要作用是冷卻,所以主要采取冷卻水或油基冷卻。使用水做切割液可以混合部分粘合劑,減輕清洗工序工作強度;隨著光伏產業、半導體等高精端產業的發展,硬脆性材料,如單晶硅、多晶硅、寶石、玻璃、陶瓷等材料的切割加工顯得猶為重要。另一個作用是切損硅料容易回收。油基冷卻主要是乙二醇做切割液,原理上乙二醇基的切割方法也有助于硅料的回收,但是需要相對復雜的化學方法處理,提高了回收成本。
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IC器件的基礎性材料是半導體硅單晶材料,因此,世界各國對硅單晶材料的消耗量反映了一個國家的IC制造業的規模和工藝水平,同時各國硅材料生產及硅圓片生產水平也代表了一個國家IC工業的材料基礎的實力。
線切割設備廣泛應用于太陽能電池用單晶硅、多晶硅切割;功能陶瓷、人工晶體的切割。其加工速度快,切面質量好,被市場認可。
