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發(fā)布時間：2020-12-15 15:13
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電子束原理介紹
其實，增速器離人們的生活并不遠(yuǎn)。現(xiàn)代生活中已經(jīng)普及的電視、計算機顯示器所用的顯像管就是一臺小小的電子增速器。顯像管有玻璃密封外殼，內(nèi)部抽成真空。由一端的電子槍產(chǎn)生的電子束（強度受影像訊號控制）經(jīng)過聚焦線圈聚焦后在高壓電極的作用下加速向前運動。與此同時，電子束在偏轉(zhuǎn)電極的作用下，自上而下作水平方向的掃描。電子束焊原理一臺電子增速器，注入的電子能量為20GeV（1GeV=109eV，也就是10億電子伏特），相應(yīng)的電子速度為0。這樣，在顯像管另一端的熒光屏上就形成了明暗程度不同的亮點。
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電子束蒸發(fā)鍍膜機產(chǎn)品介紹
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產(chǎn)品配置：
★樣片數(shù)量及尺寸： 1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或傘形工件架（用戶定制）
★蒸發(fā)材料：金屬；非金屬；化合物等薄膜材料。
★蒸發(fā)腔體：高真空系統(tǒng)。
★蒸發(fā)不均勻性：≤±3%-±5％
★工件架：可旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速可調(diào)
★加熱：常規(guī)加熱
★電子槍：E型，帶XY偏轉(zhuǎn)掃描
★電子槍坩堝：6穴，17cc
★膜厚監(jiān)控功能：石英晶控膜厚在線監(jiān)測與終點控制
★清洗功能：可選配離子源清洗
★器件一次成型復(fù)合實驗系統(tǒng)：通過復(fù)合mask系統(tǒng)與樣品對準(zhǔn)系統(tǒng)，一次完成器件的多個工藝步驟
★檢測與控制光學(xué)特性的功能：可選配光控儀
★操作模式：全自動 半自動控制
電子束蒸發(fā)鍍膜機各部件介紹
1、烘烤照明系統(tǒng)1套。烘烤溫度：室溫-150℃。（在10-4Pa時，真空室內(nèi)殘余氣體的組合，水蒸汽約占 90%以上，因此在該壓強下進行蒸鍍，實際上相當(dāng)于在水蒸汽中制膜，為了減少水份，提高真空室溫，使水分解，是提高膜層質(zhì)量的一種可行辦法）。
2、電控柜：標(biāo)準(zhǔn)電控柜，組裝總控制電源、真空系統(tǒng)控制（分子泵、機械泵電源、擋板等）、數(shù)顯真空計等。柜底下配腳輪，方便移動、定位。
3、手動按鈕式操作，備留機電轉(zhuǎn)換及控制接口，方便實驗記錄.
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電子束蒸鍍系統(tǒng)的特點
* 渦輪分子泵，串接機械泵或干泵
* pocket電子槍
* 電子束源和基片遮板
* 性能好的開關(guān)電源，杰出的消弧性能
* 自動Pocket索引以及可編程的掃描控制器
* 膜厚監(jiān)測，可設(shè)置目標(biāo)膜厚作為工藝終點條件
* 旋轉(zhuǎn)樣品臺，提供高均勻性
* 帶觀察視窗的腔門，便于放片/取片
* PC全自動控制，具有高度的可重復(fù)性
* Labview軟件的計算機全自動工藝控制控
* 多級密碼保護的授權(quán)訪問設(shè)計
* EMO保護以及完全的安全聯(lián)鎖
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