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              發(fā)布時(shí)間:2021-01-01 16:55  

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              干泵:國(guó)外干泵市場(chǎng)的不斷增長(zhǎng),其主要驅(qū)動(dòng)來(lái)自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本,半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵,歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵,大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求,國(guó)外有多級(jí)羅茨真空泵、多級(jí)爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無(wú)油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa,抽速?gòu)?0m3/h~500m3/h。



              選型真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子,降低真空室內(nèi)的氣體壓力,使之達(dá)到要求的真空度。概括地講從大氣到極高真空有一個(gè)很大的范圍,至今為止還沒(méi)有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個(gè)范圍。因此,為達(dá)到不同產(chǎn)品的工藝指標(biāo)、工作效率和設(shè)備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。為達(dá)到很好的配置,選擇真空系統(tǒng)時(shí),應(yīng)考慮下述各點(diǎn):首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因?yàn)槊恳环N工藝都有其適應(yīng)的真空度范圍,必須認(rèn)真研究確定之。





              關(guān)于羅茨真空泵的性能特點(diǎn)


              1、羅茨真空泵噪音低、風(fēng)機(jī)進(jìn)、排氣口采用螺旋形狀,使進(jìn)、排風(fēng)過(guò)程按螺旋線的方向循序切入,避免了舊式羅茨鼓風(fēng)機(jī)排風(fēng)時(shí)瞬間爆發(fā)的脈動(dòng)噪音和振動(dòng)。

              2、啟動(dòng)快,耗功少,運(yùn)轉(zhuǎn)維護(hù)費(fèi)用低,抽速大、效l率高,對(duì)被抽氣體中所含的少量水蒸汽和灰塵不敏感

              3、性能穩(wěn)定。羅茨鼓風(fēng)機(jī)風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)子、機(jī)殼、墻板、軸等關(guān)鍵零件,均采用先進(jìn)的控加工設(shè)備,使零部件的互換性提高。

              4、振動(dòng)小。盡管轉(zhuǎn)子經(jīng)過(guò)精密加工,已成平衡狀態(tài),但仍采用高l精度的動(dòng)平衡設(shè)備進(jìn)行平衡。

              5、絕熱效率和容積效l率高,因而節(jié)能。羅茨風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)子采用先進(jìn)的復(fù)合曲線,嚙合更加合理,并且增大了容積效率。

              6、采用高l精度、高硬度的同步齒輪,不僅使羅茨真空泵的壽命得到延長(zhǎng),還有效降低了噪音。






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