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              發(fā)布時(shí)間:2020-12-31 03:03  

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              使用顯微光譜法在微小區(qū)域內(nèi)通過絕i對反射率進(jìn)行測量,可進(jìn)行高i精度膜厚度/光學(xué)常數(shù)分析。

              可通過非破壞性和非接觸方式測量涂膜的厚度,例如各種膜、晶片、光學(xué)材料和多層膜。 測量時(shí)間上,能達(dá)到1秒/點(diǎn)的高速測量,并且搭載了即使是初次使用的用戶,也可容易出分析光學(xué)常數(shù)的軟件



              硬涂層膜厚度的測量[FE-0004]

              近年來,使用具有各種功能的高i性能薄膜的產(chǎn)品被廣泛使用,并且根據(jù)應(yīng)用不同,還需要提供具有諸如摩擦阻力,抗沖擊性,耐熱性,薄膜表面的耐化學(xué)性等性能的保護(hù)薄膜。通常保護(hù)膜層是使用形成的硬涂層(HC)膜,但是根據(jù)HC膜的厚度不同,可能出現(xiàn)不起保護(hù)膜的作用,膜中發(fā)生翹曲,或者外觀不均勻和變形等不良。 因此,管理HC層的膜厚值很有必要。





              膜厚儀如何系統(tǒng)校準(zhǔn)?

              校準(zhǔn)的方法、種類,這是新用戶經(jīng)常會遇到的問題。系統(tǒng)校準(zhǔn)、零點(diǎn)校準(zhǔn)還有兩點(diǎn)校準(zhǔn)其實(shí)都已經(jīng)在說明書上寫到了,用戶只需仔細(xì)閱讀就可以了。需要注意的是:在校準(zhǔn)鐵基時(shí)1好是多測量幾次以防止錯(cuò)誤操作;系統(tǒng)校準(zhǔn)的樣片要按照從小到大的順序進(jìn)行。如果個(gè)別標(biāo)準(zhǔn)片丟失可以找與其數(shù)值相近的樣片代替。


               膜厚儀廠家解釋凡其厚度與入射光波長相比擬的并能引起干涉現(xiàn)象(相干光程小于相干長度)的膜層為薄膜,其厚度遠(yuǎn)大于入射光波波長的膜層稱之為厚膜。如今,微電子薄膜,光學(xué)薄膜,抗1氧化薄膜,巨磁電阻薄膜,高溫超導(dǎo)薄膜等在工業(yè)生產(chǎn)和人類生活中的不斷應(yīng)用,在工業(yè)生產(chǎn)的薄膜,其厚度是一個(gè)非常重要的參數(shù),直接關(guān)系到該薄膜材料能否正常工作。


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