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發(fā)布時(shí)間:2020-12-02 07:10  
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淪分子泵是一套超高速、超真空的裝置,它的旋轉(zhuǎn)速度高達(dá)90000RPM(1500轉(zhuǎn)/秒),形成的超真空度可以低到5x10-10Pa以下(十億分之二個(gè)大氣壓),并且它設(shè)計(jì)緊湊,體積小,重量輕。主要有兩個(gè)系列:STP和EXT,主要區(qū)別是EXT系列的回轉(zhuǎn)軸承是陶瓷的,而STP系列的回轉(zhuǎn)軸承是用磁性材料制成的。先進(jìn)的軸封技術(shù),處理艙中不會(huì)出現(xiàn)油污染防腐型泵送機(jī)械裝置采用高等級(jí)鑄鐵制造。
五、羅茲泵
EDWARDS在全球早推出高抽速的羅茨泵,其抽氣率從240m3/h到4500m3/h,極限真空10-3mbar。在低真空中有很好的抽氣率,常串油式或干式泵使用
六、真空計(jì)
愛(ài)德華真空計(jì)測(cè)量范圍從2000-10-11mbar,內(nèi)設(shè)先進(jìn)的微處理器控制;


在真空泵機(jī)組定期一切換過(guò)程中,多次發(fā)生過(guò)類(lèi)似異常。在備用真空泵機(jī)組啟動(dòng)、原運(yùn)行泵停運(yùn)后。凝汽器真空便開(kāi)始緩慢下降,約15~30min后可下降5~6kPa,在此過(guò)程中,發(fā)現(xiàn)氣水分離器內(nèi)處于負(fù)壓狀態(tài),這是一種異常現(xiàn)象。好凱德真空科技分析認(rèn)為,真空泵機(jī)組工作不正常,導(dǎo)致噴射器抽吸力降低,使得凝汽器真空下滑。iH干泵系列的峰值抽速?gòu)?0到1800立方米/小時(shí),其中iH1800干泵是專(zhuān)為高排量應(yīng)用而設(shè)計(jì)的。
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