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光波超精密——閉式圓柱氣動直線導軌

根據檢測方法的不同，可以對導軌直線度進行分類，對一般的導軌直線度，通常采用水平儀測距和橋板測距兩種方法，根據得到的一條近似于導軌實際線的誤差曲線，確定導軌直線度誤差。

但在測量高精度導軌直線度時，導軌本身的直線度等級會與檢測工具的直線度等級達到一個數量級，此時使用距法就不能將導軌與工具的直線度誤差分離，這時就需要一種不使用基準的高精度測量方法或技巧來有效地分離誤差，一般常用的是“直尺反測誤差分離法”。

光波超精密氣浮導軌廠家——閉式圓柱氣動直線導軌

當前導軌直線度的常用檢測方法有：

有基準測量：將被測直線與選定的標準線相比較

無基準測量：在被測表面上取一定量的測點，用某種方法處理測量數據

用于三坐標測量機上的導向裝置有：滑動導向裝置、滾動導向裝置和氣浮導向裝置。當導軌尺寸確定后，氣腔壓力僅由載荷來決定，因此在載荷較小時，氣膜剛度較低。滑軌精度高，承載能力強，但低速運行時摩擦阻力大，容易產生爬行，也不易在高速下運行，有逐漸被氣浮導軌取代的趨勢。現在大多數三坐標測量機都采用安氣靜壓導軌，也叫氣浮式導軌，其優點是制作簡單，精度高，摩擦系數小，工作平穩。

開式靜壓導軌，有以下特性：

承受正載荷的能力很大，承受偏載和顛覆力的能力較差，無法承受反向載荷；(2)導軌結構簡單，易于制造和調整；

當導軌尺寸確定后，氣腔壓力僅由載荷來決定，因此在載荷較小時，氣膜剛度較低。

總之，開式靜壓導軌適用于偏載和顛覆力矩小、載荷均勻、水平放置或只有小角度傾斜的場合。

閉式靜壓導軌的運動部件，除了在其運動方向上有一個自由度外，其它運動自由度均受導軌結構的限制，故屬于幾何閉合。

光波超精密空氣導軌——閉式圓柱氣動直線導軌

小孔節流器矩形空氣靜壓導軌采用俯視圖和剖面圖。6℃/m注意:不應受到太陽照射，不應靠近暖氣，不應靠近進出通道。壓力為導向器工作時，氣源氣流通過進氣孔受到節流作用，氣體從進氣孔流出后壓力下降，然后進入承載氣膜，并向四周擴散流動，氣體壓力從承載板外邊界流出，下降到環境壓力，在承載板與工作臺面之間形成平均厚度為 h的氣膜。氣流形成一定的壓力場，使支撐板下部表面的氣膜支撐力與上方表面的環境大氣作用相差甚遠，可獲得導軌的承載力。當負荷一定時，氣動靜壓導軌和軌道之間自動保持相應的氣膜厚度，使承載力和負荷平衡，終實現氣動導軌的重量平衡。

按照振動激勵的方式不同，滾柱直線導軌副的振動可以分為以下三種情況：1、是來自導軌內部的振動，即由于加工產生的加工誤差，比如波紋度，粗糙度，還有一些局部缺陷等。氣浮式導軌電子制造設備工業中超精密測量和實驗室測量，如光刻機、貼片機等納米和亞微米工業磨擦系數接近零，永i不磨損。2、是外部擾動，即外部工況不穩定，載荷變化較大等。3、是來自于自身固有的結構屬性，包括在固有頻率處發生強烈共振，比如滾柱的通過頻率等。

滾柱直線導軌副雖然結構看起來簡單，所包含的零件不多，但由于對其要求的精度很高，滾柱直線導軌副運行后，零件之間的接觸碰撞過程非常復雜，這些接觸碰撞將直接影響導軌的振動。

直線導軌安裝前的準備 ，1、機臺水平的校正：用兩個等高量塊和一大理石量尺放在安裝基面上，放上精密的水平儀調試底座水平。光波超精密氣浮導軌——閉式圓柱氣動直線導軌直線氣浮導軌提供了一種非接觸式空氣軸承，可以代替傳統的軸承式滑動。2、安裝的檢查：直線導軌安裝基面的粗糙度、平面度、直線度及外觀的檢查。3、安裝面的倒角處理：直線導軌安裝基面與導軌側基準安裝面的倒角處理，倒角半徑，應符合直線導軌廠家的要求，若發現倒角過大或凸出，應及時采用油石或銼刀處理，否則會造成導軌精度的安裝不良或者會干涉滑塊。