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淬火時，淬火應力越大，相變越不均勻；比容差越大，則淬火變形越嚴重。通過對齒輪滲碳淬火冷卻時各部位的冷卻速度、組織及硬度狀態比較分析，可以發現各部位冷卻速度的不同導致產生熱應力，由冷速不均勻所導致組織轉變的不同時性會造成組織應力。齒輪的結構，例如形狀、尺寸等是影響熱處理變形的因素之一。動錐齒輪模型，其齒部厚度Lo與齒座厚度L的比例影響齒輪底面變形，當L≥Lo時，齒輪底面變形。

熱處理過程一般包括加熱、保溫和冷卻三個過程，有時只有加熱和冷卻兩個過程這些過程是相互關聯的，不能中斷。

加熱是熱處理的重要過程之一。金屬熱處理有許多加熱方法。木炭和煤長期以來一直被用作熱源。液體和氣體燃料已經在專業網帶爐附近使用。電的應用使供暖易于控制，并且沒有環境污染。這些熱源可用于直接或間接通過熔鹽或金屬或甚至浮動顆粒加熱。

真空熱處理所在的真空環境指的是低于一個大氣壓的氣氛環境，包括低真空、中等真空、高真空等，所以，真空熱處理實踐也歸于氣氛控制熱處理。真空熱處理是指熱處理工藝的悉數和部分在真空狀態下進行的，真空熱處理能夠完成簡直一切的慣例熱處理所能涉及的熱處理工藝，但熱處理質量大大提高。與慣例熱處理比較，真空熱處理加工技能可一起完成無氧化、無脫碳、無滲碳，可去掉工件外表的磷屑，并有脫脂除氣等效果，然后達到外表光亮凈化的效果。

真空熱處理加工技能的特色，真空熱處理加工是和可控氣氛齊頭并進的運用面很廣的無氧化熱處理技能，也是當前熱處理生產技能先進程度的首要標志之一。真空熱處理不僅能夠完成鋼件的無氧化、無脫碳，并且還能夠完成生產的零污染和工件的少畸變，因此，它還歸于清潔和生產技能范疇。現在，它已成為工模具生產中不行代替的先進技能。