塘沽芯片廠凈化車間裝修常用指南「在線咨詢」

室內面積達24m2,其工作潔凈度達1000級

室內面積達24m2 ,其工作潔凈度達1000 級,在局部2m2 的光刻工藝區、凈化工作臺以及凈化涂膠機,工作潔凈度達100 級。室內用于顯影及清洗器件的高純水,是由設在室外的潔凈水循環系統引入,該系統以去離子水為原水,經精密過濾、紫外線殺菌及離子交換,極大提高了水質純度,其輸出水質電阻率≥15MΩ。在工作人員健康保障方面,超凈室設有空調、凈化排風系統。涂膠臺及電鍍腐蝕工作臺設置了獨立的對外排風系統,從而也降低了環境污染?？照{系統保障了室內濕度≤60 % ,工作溫度保持18 ℃—25 ℃。室內循環凈化送風系統以及光刻工作區層流罩循環凈化系統為室內潔凈度提供了保障。

靜電式凈化方式工作原理

靜電式凈化方式工作原理：采用高壓靜電吸附除塵工作原理。靜電式是采用高壓靜電吸附除塵的工作原理。靜電場中的陰極線在高壓靜電的作用下，產生電暈放電，電暈層中產生大量的負離子，負離子在靜電場的作用下，不斷地向陽極運動。當空氣中粉塵通過電場時，粉塵受到負離子的碰撞帶上電荷，帶上電荷后的粉塵同樣受到靜電場的作用，向陽極（集塵極）運動，到達陽極后釋放電荷。缺點：可去除飄塵（不能去除氣體），效能比機械式低、慢，而且易產生臭氧，此機型被美國市場評為差凈化器。

一個普通的無塵凈化車間,會涉及到凈化裝飾、地面、凈化空調與通

一個普通的無塵凈化車間，會涉及到凈化裝飾、地面、凈化空調與通風系統、冷熱源系統、照明系統、動力系統、通信系統、監控系統、自動化控制系統、給排水系統、工藝管道系統等工程。無菌車間比普通的無塵凈化車間會更復雜，需要考量的因素更多。普通的凈化工程公司，難以良好完成無菌GMP凈化工程建設，建議選擇的公司來承建。無菌檢測界定是規定沒有活物微生物的存在，無菌車間產成品生產加工制造全過程中必須采用各種各樣方式來除去工藝品中存在的微生物和避免工藝品遭受微生物的環境污染。

潔凈手術室門宜采用設有自動關閉裝置的電動懸掛式自動推拉門

潔凈手術室門宜采用設有自動關閉裝置的電動懸掛式自動推拉門，設計為彈簧門，應以鋁合金制作，要達到密封和易潔凈的要求。手術室及潔凈輔助用房的外窗必須是雙層密閉窗。 外窗框與墻體之間的縫隙在室內即正壓面采用硅酮膠封閉，傳遞窗窗框與墻體的縫隙在墻體兩側用硅酮膠封閉，傳遞窗兩側的門扇要具有聯鎖裝置。門框與門扇的縫隙周邊連續敷設彈性密封條，使門關閉后形成密閉的密封線。