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什么是流量控制器

質量流量控制器，即MassFlowController(MFC)，不但具有質量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，即使系統壓力有波動或環境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。質量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對于氣體或者液體的質量流量進行精密測量和控制。擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設備，光纖熔煉，微反應裝置，混氣配氣系統，毛細管測量氣象色譜儀，光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工。冶金，制藥等。特點：精度高，重復性好。在被測流體處于壓力、溫度等參數變化很大的條件下，若僅測量體積流量，則會因為流體密度的變化帶來很大的測量誤差。

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流量控制器特點

1、 穩定的流量供給，不受溫度、壓力變化

2、 寬量程比，可達100：1

3、 高達0.1%的重復性和1.0級的精度等級

4、 多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

5、 內置70余種氣體，觸屏式直接操作切換，無需重新校準

6、 標配三種顯示方式：數字、模擬和本地面板

分析流量控制器的應用領域

分流器決定主通道的流量。與它配套的流量顯示儀上設置有穩壓電源，數字電壓表，設定電位器，外設、內設轉換和三位閥控開關等。質量流量控制器抗干擾能力強，測量精度高、量程比大、工作穩定可靠、對安裝要求低、對流體狀態要求低，壓力損失小等優點，且易清洗、具備自排空功能。三,要在MFC氣路前面加減壓閥,穩定入口氣壓,在MFC下游加背壓閥,穩定反應室和MFC出口的氣壓,適當調節減壓閥和背壓閥,要保證MFC的工作壓差不會超過規定的范圍。

其基本技術指標已達到先進水平，每臺傳感器都由不銹鋼材料制造，多種輸出能滿足您的各種需求。可直接用來測量管道中介質的質量流量及總量、體積流量及總量、介質的密度、溫度、溶液的濃度以及較均勻混合的兩種液體各自的濃度等參數。質量流量計，即MassFlowMeter（縮寫為MFM）,是一種準確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準，不需要溫度壓力補償。質量流量控制器即使在惡劣的工作環境下也能表現出優異的性能

提高流量測量系統的可靠性用于安全聯鎖報警的流量儀表如果不可靠，應該聯鎖動作時不動作，容易釀成事故，不該動作時亂動作，容易導致不應有的停車，造成損失。工業爐窯中的燃料流量計如果不可靠，造成流路堵塞，容易導致爐子熄火，釀成事故。用于過程控制的質量流量控制器儀表如果不可靠，容易為調節系統發出錯誤信息，導致調節系統失調，破壞生產過程的穩定，影響產品的質量、產量和物耗，造成損失。可以看出，流量儀表的可靠性是較為重要的。與熱式原理不同，ALICAT質量流量計、質量流量控制器采用層流壓差技術，依托專利的層流片結構將氣體由湍流轉為層流運動，通過測量層流片兩端氣體壓力差的方法來測量流量。

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