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氦質(zhì)譜檢漏原理

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氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是以無色、無味的惰性氣體氦氣為示蹤介質(zhì)、以磁質(zhì)譜分析儀為檢測儀器，用于檢漏的一種檢測技術(shù)，氦檢漏設(shè)備，它的檢漏靈敏度可達10-14～10-15Pam3/s，可以準確確定漏孔位置和漏率。氦質(zhì)譜檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)組件和電子學控制元件三大部分組成。質(zhì)譜室接在分子泵的高真空端，入口接在分子泵和機械泵之間，氦檢漏設(shè)備價格，利用分子泵對不同氣體具有不同壓縮比的特點，氦氣逆著分子泵的抽氣方向進入質(zhì)譜室。檢漏儀在質(zhì)譜室中將氣體電離，這些離子在加速電場的作用下進入磁場，在洛倫茲力作用下發(fā)生偏轉(zhuǎn)，由于不同荷質(zhì)比的離子具有不同的電磁學特性，偏轉(zhuǎn)半徑各不相同，在擋板的作用下，氦檢漏設(shè)備保養(yǎng)，氦檢漏儀的收集板只允許帶正電的氦離子被接收到，單位時間到達收集板的氦離子對應于一個電流信號，這個電流信號正比于進入到達收集板氦離子的數(shù)量，電流信號經(jīng)過放大后顯示在質(zhì)譜儀的顯示面板上，其大小反映了泄漏點的漏率，通過泄漏率大小來確定該位置泄漏程度的大小。

氦質(zhì)譜檢漏儀的示蹤氣體選用氦氣，是因為氦氣具有以下優(yōu)良特性：

①氦氣在空氣中的含量少，體積含量為5.24×10-6，如果氦氣在環(huán)境中的含量超過標準，可以比較容易地探測到極微量的氦氣；

②氦分子小、質(zhì)量輕、易擴散、易穿越漏孔、易于檢測也易于清除；

③氦離子荷質(zhì)比小，易于進行質(zhì)譜分析；

④氦氣是惰性氣體，化學性質(zhì)穩(wěn)定，不會腐蝕和損傷任何設(shè)備；

⑤氦氣無毒，不凝結(jié)，極難容于水。

氦質(zhì)譜檢漏儀

1.智能化：以往的氦質(zhì)譜檢漏儀操作非常輔助，而現(xiàn)在的觸屏式，自動檢測。

2.便捷化：這幾年市場上各種小型便捷的檢漏儀能夠為行業(yè)提供小巧而靈敏性高的設(shè)備。

3.自動化程度高：自動校準氦峰，自動調(diào)節(jié)0點，量程自動轉(zhuǎn)換，自動數(shù)據(jù)處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜擇功能，一個按鈕即可完成全檢漏過程。

4.全無油的干式檢漏：有些國家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。

5.檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。

氦氣檢測方法

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1 氦氣測量精度較高。

在室溫和大氣壓力下，氦是無色、無味的氣體，是人類發(fā)現(xiàn)臨界溫度的物質(zhì)。氦是單原子氣體，化學性質(zhì)不活潑。氦氣一般不生成化合物，在低壓放電管中受激發(fā)可形成He 2、HeH等離子及分子，廣泛應用于、科研、石化、制冷、、半導體、管道檢漏、超導實驗、金屬制造、深海潛水、焊接、光電子產(chǎn)品生產(chǎn)等。由于氦氣是惰性氣體，因此不會腐蝕設(shè)備。應用氦氣質(zhì)譜檢測儀，能夠?qū)z測合格及不合格的鋁合金車輪自動區(qū)分到不同的地方，使輪胎的質(zhì)量風險降低，防止微小漏氣造成的安全隱患。

2 降低人工成本。

由于氦氣氣密檢測設(shè)備是全自動操作設(shè)備，既不需要人工搬運鋁合金車輪，也不需要操作人員目不轉(zhuǎn)睛地觀察，實現(xiàn)自動化，使得人工成本得到降低。

3 .大大提升檢測效率。

正常情況下，每班次能夠檢測鋁合金車輪1300只，每年就可以檢測140多萬只鋁合金車輪，而傳統(tǒng)的氣泡檢測設(shè)備每班次只能檢測300只，每年檢測30多萬只。由此可見，應用氦氣檢測方法，能夠使檢測效率得到大大提升。