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              發布時間:2020-12-29 08:04  

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              通風系統采用PLC控制設計,即風量根據通風柜的使用數量手動進行有級調節,但實驗人員嫌操作麻煩,經常不關閉空閑通風柜的調節門,也不手動進行風量調節,導致通風柜的操作面風速變化很大,在通風柜調節門開度均為0.3m/s~0.5m/s,比較正常,但開度均變小時可2m/s。風速過高導致亂流,部分有害氣體被亂流帶出通風柜進入房間,房間刺激性氣味彌漫,危害人員的健康。



              表面粗糙度和耐磨性

              為了確保輸送的氣體純凈度,要求管道材料內表面有一個極高的光潔度,這樣可以防止污染粒子及濕氣在管壁滯留,可以在吹掃時比較容易吹凈。管材比較光潔而且耐磨,可以在氣流高速沖刷下,產生的金屬粒子就少,不銹鋼比銅管產生粒子要少,所以不銹鋼管耐磨性優于鋼管。

              抗腐蝕性

              微電子生產中,經常使用一些腐蝕性很強的氣體,這時必須采用耐腐蝕的管材,否則管道會被腐蝕,輕則表面產生銹斑,重則管道大面積剝落、穿孔,不但污染氣體,還會發生危險事故。



              4N氮氣干線采用OD3/8(6.35mm)管道。在0.5Mpa壓力下,流量可達8m3/h,完全滿足常規用氣要求。支線采用OD1/4(6.35mm)管道。焊接用于向設備供氣。

              5N氮氣、氦氣及預留氣管道采用OD1/4(6.35mm)管道,支線采用OD1/4(6.35mm)管道。焊接用于向設備供氣。

              當集中供氣系統管道通過障礙物時,應使用管套和不可燃材料填充間隙。




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